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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:008 ~% r/ G  {: H( n6 o
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    ! m; E1 ]- h! x8 w( d5 S) y/ [8 k3 w
    0 s2 Z6 H0 s( |9 a6 w/ i& A个人感觉:相比于前一阵 ...
    $ E" M8 v* H8 [7 r% f+ \
    - s- x9 P6 {& x7 g9 |
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    ! @9 S: j  v$ Y. C& ^0 E# U0 p应该会在5年内实现吧。- j( `, ^6 E7 W. T% J7 w( {/ S
    * N& |+ Q. ?/ G* m$ v: b; K
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)  T0 `" D6 e1 D* B+ v. P
    24-9-16 23:551 E0 ?; g' @& D9 N
    发布于 湖南- y3 G+ v, p7 c% ]
    来自 微博网页版
    : C. d& k( ~2 c$ N: g7 s$ B啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机* s7 m. V" n  M( i
    不是运过来就能直接开工的。
    1 f/ N: e1 f3 T1 S9 j他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    6 {! v4 [$ B( s: l" R( Y7 j$ u' N; K, P, l, \- J. z
    这个时间很长,也是我常年说:4 C5 Q( j2 f8 Y9 P6 A  l  r# {
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    4 Z4 t9 S- M0 f  P& H9 U1 F4 [+ E5 l$ x! {8 i. G
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。: P2 z: F8 _5 [6 |- a+ t1 t: o

    % Y% T, D- [' [. N2 T, v; T简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    " U! k. Z8 o8 U; y/ I' d4 @! L9 e干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    3 o. i& w& u* \& B6 H" x多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)9 L- j8 g0 e& t$ X4 x
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ( |, h, Z4 [' m  i0 C  @: ?0 C. a  I; ?2 m; Y: l
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。2 K% K/ s6 y3 p$ |+ H/ Z( V
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    5 S" M- A, p" c. r3 s3 Q#华为mate70# 也没多久了。
    ; x3 v% A+ q' }7 o

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
      ^1 o/ o+ O; V" D( b: k  q应该会在5年内实现吧。3 G0 \1 j" a7 B1 r% g. u" l

    9 u$ Q) d* [! a/ j- ~# U  W$ V微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    3 _: v7 ?% H/ Y: w4 N: _) N
    # b; N2 q0 }; p* S. B
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    - m5 C; M: @7 [这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    . [' Q# n, m* q但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    - i1 j7 p* i/ [, I( f* [, d- t
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    5 Y! m; E0 Y' z但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    0 L" a0 N/ }( B3 x* x+ x. L8 n4 y5 M7 d3 d' ]: ^1 t
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 X7 Z# v( L; e6 Z. ^& v所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    : L- z# h6 z3 P7 K3 x8 p不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
      j( Q3 u9 ], h, j" ]
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54$ M. O# \6 u( k2 ^+ H0 u
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定# \& d! t% Y  M6 Z* I! ]) _
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    , b, |( u9 `& ^6 r
    有道理。
    6 {2 h. {0 X2 M9 P' s! a, t" Y( K1 R6 o6 Z. ?
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    : d2 p4 u: _% E/ ]+ l7 ^1 ~; u1 o  \) y  y* N; E" l- h3 b- ]' v
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    8 z; ?, A# C; D' W0 W. }: k' N: S! {: G! ?: I. |
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    1 [' }6 I) K5 w  a6 L  _6 H理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    , p9 T  G) c! E  K' h- l% L( @这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54! o+ p( r5 b' O0 z* R
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! N, k7 l, l- y& A! `0 q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ( Z9 n( @( v& |7 s6 r
    还没搞定?
    6 I+ U: _+ P) d我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ! x% O# L! P( q  q7 x. D& x/ B; {; ]尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。% l9 |# _& K5 F; p

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ) X/ o4 }8 T# \按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 G8 `2 L, A" Z* {) L8 ?$ A/ Z
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; p) u- C) R: G  [) i: r突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13: m% |: [. j2 ?
    有道理。" ^9 C9 ~" }" p# }. J4 z
    % ]6 e& E& a* C( T" d1 S
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    : \* }) ?  n" y/ `
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    ' F6 G% ^; l8 x3 R很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 , p$ F8 E4 r1 I  f0 Y. X, g
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    + l3 s6 x$ F5 C- W- r' w还没搞定? ; f, T5 ~/ I  c. k/ m$ r
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ' u9 @6 ?2 j* G; U% B
    * n( ?1 y& b" w4 E" t
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    # M, ]3 [! c, \/ u有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21, }4 p9 L7 ~7 c" H6 t' p8 ^" w% n7 X
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

      }7 }  p) r' Q) ^" f0 U& y5 d存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31! }, _/ l  N$ i, k; f
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    % x% \4 p6 g9 K( f: H6 `9 \5 n需要用到浸润DUV吗?6 d9 m! ?- S, U

    2 V4 m3 P: N* ^0 Q我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34; d" E/ ]2 Z) {3 W
    需要用到浸润DUV吗?
    ' W! Z+ q) c# B( q* a2 P9 y( u9 }
    - k7 \6 h# ^! n, ~+ i我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

      R: |2 t' ]1 o浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    ! R. r, d" O' k: h6 U, I3 I可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    / j7 _, q- H8 ], {5 \7 g2 I* l
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。+ s" E: i5 K0 |# ^$ n
    % h! }* }- e" J8 U; v
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:375 O+ q6 _7 i, T" `' a6 I1 C
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    0 x; n4 g$ E8 z' Y/ J" q都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54- H! F1 i: A0 {! U# L( U
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& O4 k" a) o. _0 R1 q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    3 Y5 J* ?* Y; r: D$ C
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ; [  M- c1 @% o% _6 ^0 R
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43" s) m3 O3 F( V7 c$ [0 S
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    4 P0 X4 x1 N2 J
    ) D$ L/ a3 I( H. Q' D3 @0 o这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40% N( `* r' n, f6 y
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    ) M( z% O7 l! D9 X  O! c不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13; x& _$ ^# x3 @  W, H6 ~2 ~0 {
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    : E1 Z* _$ m# A, q; ]: A" w# t9 A
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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