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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ) l0 A% R+ v; j- W4 |5 t也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    % k! H" o% G8 F" F' y0 U8 D# l3 T2 M+ F, A
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    6 [$ h' g+ Q8 z# d% W
    . |- U! V/ {9 l0 p6 P' ^- x
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    4 V" W, p2 M) N3 a1 v应该会在5年内实现吧。& k1 w( Y$ ]# O

    5 u: W+ t0 I( n6 K8 x# c微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    6 f3 O# N' g6 ?; \; l24-9-16 23:551 U" i' f. w. M; p' W
    发布于 湖南
    ; I( P. m: S* ?1 X+ T0 C+ d' i来自 微博网页版
    ! S# a0 T% z8 V  N" ^+ c( w9 J啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机$ h0 g  E* P' b7 b& M
    不是运过来就能直接开工的。
    - \6 ^; L; H! m, N( D) I5 Q: P他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。, j' H5 l8 `9 @' r8 x' l/ g

    & w7 B5 C7 z/ F) k* h# J( X这个时间很长,也是我常年说:
    & O- p3 @3 F+ Z- ?就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    & [( }8 A  e! D' K/ g4 z( [3 F/ w9 B3 [
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。/ A3 Q% z' x$ }$ Q

    3 X: O3 Q. U5 s6 C/ c" v简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。( q$ N' K3 f/ O) t
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    , q5 ^. ^3 g2 F多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)( v- C: |. t# k* d' \! Z8 ^/ p
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    & D. A2 j) l, j% O+ S% L
    7 b8 a# ]' H* g+ i- L3 ~没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。+ }2 N9 k. [5 `" O4 Y3 F$ t) j
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。+ K) J7 x$ U0 Q* a, Q6 [' i0 b
    #华为mate70# 也没多久了。: w3 M$ l* k: @8 ^1 u# U

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ! h' ~1 g1 D9 a# d- s* P应该会在5年内实现吧。8 {# y& o7 Y; V% E& q/ }# `

    " I' W" P8 {+ @0 y6 v' G微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    & c$ O4 k7 |; q; t4 F& w

    , N2 g/ f$ L- O  w/ {这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:152 j5 A- p- G! t/ J- [
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    + p" j" _& E: ~$ u3 i* v
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    3 B( J. }% k4 q6 o: ~8 b
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    2 _% F) ^& j' ^0 }# c% z但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    + P* ]& u  h7 V& E* ^

      |' t; o; s1 w按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定8 p1 Y) ]2 G3 h4 }2 U) Z% M
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:345 n# _+ \' O* C  N, E2 y- G2 X8 z
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    ' ~! Q4 X7 W! |  s理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54* ?  Y. ~! F! W: a% G
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 \. B0 b0 ~4 U3 Y6 l  u9 N2 [
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 i( N% `, f6 h/ y4 F! k; ]. R) ~/ H) T有道理。
    " F8 V! C- x4 L1 n4 n  C& ?7 W7 f5 g% w: @- k% t" N$ _
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。3 A5 D2 n9 u, `4 b) q  s
    ' v- |& w& ?7 G  |# j( p' F
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    $ g0 O* O% s) A9 }1 U9 j
    , M/ d3 S8 o  t4 P7 `$ n这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    3 }+ b$ X# b0 ]; g2 \4 ?理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    2 Q! F, C  K1 H) \4 j# l这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54# v$ D) W) x& M% L! e' d
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    : x; B' z" \6 Z% y所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    5 F# o; L9 S; e1 o/ E8 f3 r; x
    还没搞定?
    & S: r# H5 P9 E. U9 S# J; s2 \我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    6 L4 p* w( L6 u: V4 ^尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。  b' D. ~- b" V. b) Y7 V: \3 r

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54- i" A& {3 w( q+ X' A
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 ^. K$ _5 R* u) q- `9 X6 \7 N
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    6 n) X+ n" b6 P+ C突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ; t2 C3 S5 F* J) ?1 {3 v有道理。
    $ z. ^( \& C' z5 g
    - z/ p0 @* t+ Q( |( r不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    : C# `5 M/ t& R9 G0 B可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。/ A6 a) I- _9 I8 w2 J3 T- W
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 / g5 d, j. n$ h4 m+ `$ N
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    - h) t$ J# ?  Z9 [/ k$ I还没搞定?
    - c( ?) C; r" T. p! n我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    5 I1 {0 I3 g7 v3 d
    % m: L3 W& W, T9 z; g) L5 B
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    , ~) \# G! {6 A# J# X4 N/ z有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ) p' [- L6 z5 F/ `1 }& P, n突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    # h3 n" G4 C' W( i. r0 j
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31- ~- {7 A( {# u/ e# ^" E  P
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
      ~0 [2 s- X: E' F' ^. A
    需要用到浸润DUV吗?
    9 `! t2 b, F2 {+ e, \* R3 S: g/ u' J
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    & O/ o$ s  i- D3 z  K9 w需要用到浸润DUV吗?( T& P0 }, [, U; G' S& u

    ) o5 J  Y) |6 N, D我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    . ?* N7 c' B* F: Y" \浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    3 D. c, W7 t  d  H" S8 g可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    7 _! M  V+ g" x9 J& P
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。0 S# c" {; Y  |9 a% K9 ]7 O
    - d: C! o+ ^/ b7 V- C1 [% D! ^
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ( |: }' R- R6 J+ X7 O" a浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    . t( w# s% a& s% H$ g; v6 _! c- y都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:549 l2 F; \4 f. S
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定0 h% Q$ G3 T/ k8 Z4 _
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    " K7 @9 S& X4 N5 U/ m/ S: _
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 ! M$ @# r: L* H! F9 J
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43) G2 A; }6 t5 H2 ~) Y7 _
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    4 H- n# G0 K2 G% u5 h$ e" ~6 o- f. X8 y5 q
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    0 s9 {0 a/ o, w3 \" G. a  S都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    4 Z- k7 k7 [7 L: J* }4 O
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13, Z2 `: R- Y0 m* t# P
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    2 O5 s1 E- t) \7 [- ^, B9 \
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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