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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    + m0 W5 ?* r) v1 X9 x0 [也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!  J: x& r0 j1 c
    5 ~+ D9 \' P/ T' j$ P5 q! C2 C
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    $ o, R5 J! g" u: ?' \) E- _, Z9 E! L" r2 L& w: x, z
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ' {0 g3 z( y& t$ R7 }2 h5 j3 k, ]
    应该会在5年内实现吧。# L: O3 ^+ Q! T( G3 S
    % `9 {: b- Q- w% I  S* l
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)# i. }5 ]5 w9 Y! t+ _5 t
    24-9-16 23:55
    3 z# s4 \) J. D4 s6 i' b发布于 湖南
    : h" a) g& C$ u' f来自 微博网页版% H- y7 p2 H5 b- `8 }6 ^- T  \3 b
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机5 a5 \' L: }! {* b/ o
    不是运过来就能直接开工的。
    3 G0 f& Q% G/ Y' o6 C他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。' t- i7 m9 F8 T$ K+ s2 O7 Q0 `
    - C. b- T- A& ~- m
    这个时间很长,也是我常年说:
    6 n0 P) [) c+ p; ^% }4 h) q就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
      }/ L, D7 K8 U$ q; o( N# C0 I, J9 w' n/ t: ?5 Y; S# Q
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。: L2 o) L  g* U' d# \% C
    5 p# @, F; R8 U! k: Z" }
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    $ Z2 C# c; H2 v: m) A" E干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    " T( n' A6 V6 K4 Z9 Z多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)4 F4 n6 N* |3 c, u) x3 x& S
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了1 m- h0 S" P* J
    1 o2 H) X6 m. J1 L
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。' J+ P2 x$ L: z) n' Q6 o
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    $ u* U5 E9 Z# A$ j$ j#华为mate70# 也没多久了。0 {( b  h. n; o: Q. S/ I

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    + W- M3 ~" m1 ~' t/ v5 X( c应该会在5年内实现吧。
    % b- s  k% S, C" Z$ s. p5 m$ E- z5 _5 H$ X
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    , V( s% H* Z3 o1 p; `- u3 U' D6 N* l  X6 }7 D% \
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    1 l+ ?9 i% W, F, W这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    : j' z* ?% U9 b
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    1 m5 V8 A, |4 e& ?; ]
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    - S6 f, D; g6 A. L% W9 T) E但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    ( \: [# Q: W3 A+ u  j1 [- E( z
    " F! p3 s) V3 u8 |8 J. X
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 j. `: f3 p3 G7 }3 h7 q5 W所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    1 v5 M; L, t) \$ [不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    $ e3 A3 ?3 Q) i- ~3 f2 w理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54) ~  z6 @' x- W. A6 i, K/ P
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 e- X- M0 `7 H所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : G$ E, \" H5 ~6 T+ ^7 u& x
    有道理。
    ! |: o* q" }+ d' X- g6 h
    ; k2 c8 m; e4 H) v不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    1 d- L2 g* i8 b0 h; A  t. ~: y# T. [6 v0 \4 J- ]# ^
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。. t* l. Q. H9 U( |2 u0 n& s, h

    # `. X# V4 D" L/ i* b这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    4 H5 D5 A# V3 G/ b/ z/ _5 K理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    , y/ a9 _1 n: R2 D% E1 Y这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54: u9 Q0 u. L4 E  @) ^
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定* A4 q/ [7 P- k* I3 ]# ?# O- `
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    8 n, B8 z) ]; o. y; |) }0 C
    还没搞定?
    ' X9 i# B  B$ V6 F- c& J' U我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    7 c+ Z5 e$ A$ A, c尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。9 E, @4 E+ G: N$ k& R0 J

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:541 ]9 m6 M. }* J# A- z$ {% f2 I
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    & a7 b0 l* |3 p# q) f# |" O所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    6 o7 `( S( [% c
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13, w! K0 B% t; B& V: V" O
    有道理。
    ( A' b; k0 `' S) m4 l9 g* X6 ^3 z7 s% ?7 v
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    : c" Y$ j) W/ A( p' }3 n. t
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。2 |/ s) R- T% H' M# i
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    3 h8 S4 ~+ n+ T* m
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19; {' c9 E' Q( ]5 R
    还没搞定? 2 g; }4 Y8 I. R& F  c' P1 ?
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    % V: o7 L7 t3 l+ ^) y& g! ]% R+ v

    5 l8 h1 K1 _, p7 ~! V1 U' kNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。; u9 a- t: q- ]
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    & N4 |: i- l* z( w+ h0 i突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    6 ^7 y  ~% e3 ?$ P& g; Q存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31% U6 E) T' y0 \5 _1 @6 ?' t
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    & l% X/ B( U; K$ l需要用到浸润DUV吗?
    4 }6 R9 k1 o% H9 e# s
    ; w, l6 e7 ]: ~6 X* _& E0 X  X0 _$ H我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:342 ], {) `; x. a5 v6 s. w4 n' f
    需要用到浸润DUV吗?
    / I! q- e  i5 S, j5 c) O, l0 P  z! X6 Z
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ; ^2 `, @0 Z1 O! {) i浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    9 s; n- N" y3 M2 Y可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    % U* {1 p) Z0 E8 E' \) W是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。: Z5 _# x8 n" W9 ]

    / g9 z* C0 B: `硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ( o- B6 q% O# w  p浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    7 S. S" N! C# Z. J; n
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54( R9 I# s. G# }
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    3 x! e( B7 m) f  O# e* ~! x+ ^所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    , u( @: r9 M6 h
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 5 B% D8 a5 Y& u; J5 r1 i' C5 A
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43& y6 j. B$ `2 B8 o( p
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    ' U' _8 ~* F, C
    # ~( t) `! d+ T4 c0 |  f3 e
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ! f1 |2 F: z2 s8 R7 c' k2 r都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    9 n/ X5 v8 l' T: V# h不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13) E5 P! Y% a6 H5 Z5 x
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    " n& z7 r7 m! n! b4 i: d; f
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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