设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00- X% C: i& Y( S$ M" h
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!6 e1 ~8 Z. [9 t
    ) B) e3 K% j  {7 y4 Y
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    7 a6 K; ^( ]) R3 _1 Z

    7 v$ n' r5 X* ]+ c% M/ i
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    1 p. r4 \9 j2 r8 V: ~; ^4 @, s( E3 y) S. Z
    应该会在5年内实现吧。
    : `, B7 c3 s. N! {# P& L& [( V: q, E7 F6 G/ I
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    * q; q) G2 ^; d, `* \" O5 n24-9-16 23:55+ r! |. {+ a3 t5 h3 t
    发布于 湖南
    6 |) Q2 b2 p  ?来自 微博网页版
    0 t& ]) `: `6 q( n啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机" m6 H3 ?: I$ W( L& V3 x
    不是运过来就能直接开工的。
    4 f* x( H+ o% j7 R- M* G他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。: l1 g" a: K( V+ W& ?
    3 A; R0 k( Q" |7 B! U& C
    这个时间很长,也是我常年说:
    % _) P, M* E) d就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。4 D0 J# h. Y' O

    9 I2 B: k; u$ q现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。/ n" c% H% F2 t: V4 E

    0 j- n6 I3 a; R! N简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    ' f4 i9 C6 ?1 x5 l干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    . Z0 _7 i9 N; @) E! I多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    # C: [. }6 }- P/ E但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了6 s$ n$ o6 e9 S
    4 W  r9 P. }9 Z2 P3 l! y; o/ o
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    4 u! d% A. C6 C0 p5 [普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。$ N/ v3 \2 K7 n  g
    #华为mate70# 也没多久了。5 X/ t) C" m8 L4 U3 r1 n$ }

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06- }9 Q  X& M1 B: X7 {9 e
    应该会在5年内实现吧。6 n/ C, n$ h& J4 [" [0 ]/ Y; V; j+ A

    3 A* R# t% P$ R) \# a& D, D微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ! ~! X. Z/ d! n) d" f$ |

    : G& \8 z+ x' {) n这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    : P# ]7 X; ]8 L这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    & z, b- V9 L6 }, @+ j
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    $ `7 D, C; d, ]. a1 d
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    * _# }0 Q+ x' [* E6 c; ]: K- S% {% G! b但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    % p7 A3 H7 H, X; t, c) ~
    ! I. m. Y5 q2 V0 J按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ' f, D1 l% h: p2 r& ^所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    ( Y& F7 y  d2 G6 S' m不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    2 O3 R% F5 b5 H) S# P& G- A, j
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54: `' [% H4 F* }: R! q) V: C
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ r: j. J, g2 S3 L% W所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    3 N1 v8 A) j* }+ f有道理。
    1 p" l8 |3 B5 A% Y% s3 c- s/ z4 W9 b, ?/ ^  I5 w
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    1 o- ?0 W! x% q* Y# o! T
    7 m7 J5 F3 h2 i7 M) g5 p中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。/ h% W  T* Z: C8 ?  A3 h
    $ ]. U4 H8 L4 `% e
    这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08& M: x4 D$ Q9 k$ r. k$ w* R" C9 T- W
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    4 ?9 M: Y! h  e  J$ t
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    , O# ]1 Q1 I5 E7 H' ?" F2 U8 z按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , f; D9 ^% |1 L5 t所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . g. F0 |7 \3 K9 H4 Q, F
    还没搞定? 1 r9 Y, a1 W7 E# O5 w4 G7 C. I" z
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ! E2 v4 h9 c/ r! l# T; G) g尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    2 x  Q  c% f- x0 L, m8 L& ~3 Q" D. G6 `) I

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    + u& O9 V" ~$ L) _( F3 r  `按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      p: K" f) i8 F- `3 R( c所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & A; g# X, s4 J% C/ i9 q2 v+ M5 w
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    4 j. U) }* c2 l0 {有道理。  ]" K9 \# [  b$ E
    % Z! K; m) J' c2 ^# `# i- j1 t
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    6 u0 R2 B& w. N
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。1 i. s: M! @' G  @% p& `
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 ' ?" e+ q7 _; w$ k, E' B7 G/ U
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19# ^5 ~7 g! y3 [" O% C' y" Q
    还没搞定? 6 U2 Q8 f+ P3 G( Y
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    0 O2 S- M& w# e* r* Z8 E
    + \. j# }. m) I3 a. Y0 CNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    , C4 i* h- _1 s, M* u有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    % X3 E% \, `- q  A4 u) x  w突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    ! _8 x" p% f  t; L: {7 d存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:318 A4 F3 m5 w0 p' Y$ I
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

      t) S- w' r( r需要用到浸润DUV吗?
    6 A# Y! V3 g5 N
    8 g+ e3 C' B0 M# b" X3 y9 i我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    . a7 K1 z! Y2 M& O9 ]- Z3 s需要用到浸润DUV吗?
    : u0 e4 E: [! O4 K' B
    , ]" C3 z& h& M- H我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    * g7 E: `! k, ~9 \) Q3 c$ }
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    * p! h  X( M- I可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    $ f3 _& h3 s# r9 a5 L3 H
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    % v3 ]2 k. m5 R- g3 Z1 V3 @9 |- @
    ' ]- {- ^  I0 L+ ]3 X硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37: T4 v( z+ L  B& r, G3 h
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    $ ~$ y' Y9 V0 b; B: |. G+ q4 `4 u
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    # v- y  P' v& B/ S( ^按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    9 M% J$ p' [6 c" X0 q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    / n' q# `- c. v$ k& U* [7 O
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    9 S5 T1 F1 L# ^+ i$ e
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
      B4 B4 S& J( Z* D- S% L. A0 v7 Q具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ) H# l3 o& a1 E5 u: Q' w( t, ?: A2 x
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    6 x' {. G  t" q4 E都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    ! M' B! D& H  q9 o不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:133 E& a6 ~8 p3 Q1 o7 J
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    0 X7 X. m2 e1 K* N$ ?/ H. Q% R中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2026-3-28 15:44 , Processed in 0.062726 second(s), 17 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表