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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:007 T1 }. Y3 _0 [( I: L
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    & k0 H- J4 T7 f  ^5 b# C9 a) C% X
    / P. z- q/ k% v1 b& t9 o& z" J个人感觉:相比于前一阵 ...
    3 N9 e, i( w/ I7 U. ^
    - u" N7 O, l0 `* F! N; K( }
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    8 }+ C" W$ H# _' n1 |, G# q# _) u1 v
    应该会在5年内实现吧。
    9 ?( L/ q3 n% {# k
    $ a; |# S: X& W+ [微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)$ R" {5 p- y- d" T# r2 q
    24-9-16 23:55
    / T# G! D, {1 J发布于 湖南9 N' w( G/ C8 i2 ~% v
    来自 微博网页版
    2 [/ ^7 r3 R+ l. ^; T. B0 Z啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机' Y0 \) N) P* t+ X" x) |8 o
    不是运过来就能直接开工的。' W+ _: X& ]; h3 a( ~4 \7 P
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。2 k8 o6 n/ H" _/ \
    $ {! r% Z$ O: U# P$ d
    这个时间很长,也是我常年说:
    : }+ t+ t* a8 X0 K+ ^6 G# v; s就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    1 g4 A" M! \( T7 c2 }! K5 U: h! X8 F
    9 f/ l4 W3 r+ |现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    ) v4 V# z8 v0 U$ g1 k3 t
    0 I9 r' g: h( K* B% {简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    : E2 T8 Q# j  N+ V- o干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)) X, B6 X4 o7 L& p; }2 X& v6 X+ }! I
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)3 M1 v4 K2 w9 d: P/ ~! [! j
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    " m' C9 e' Y9 X3 A8 b- z
    1 S0 X3 I9 ]+ ?2 h没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。6 x; e1 _4 y/ x7 Y# e' }0 I3 D
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。  n" [5 P$ Q, h4 Q
    #华为mate70# 也没多久了。
    & X% b$ p& s6 ]; |  w* U- o# \

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:068 D' k8 D- Q. F: b1 R
    应该会在5年内实现吧。
    ) G( p  D6 S& B2 d5 B
    . C+ a0 X) J, K微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    9 I! v5 y1 b5 H8 S: t# U- [% c! V- @  z$ o# ^% V2 Z
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15' k: ?% G; T9 j+ C2 H: x+ W
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    " F  Q* I( T& D3 K$ @
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    & L  k" X' Z  Y4 d: E+ e: u
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39% Z5 X! X  G% A( Q9 Z! o
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    & [: U: a4 a, h, p% w3 t9 ~9 \5 l8 |  e8 ^: W0 n: K9 N
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    & f8 l% ^9 M6 i" S; K' K: Q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    ' {- I0 f1 n' S* z7 N) s$ `, y" L+ D不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    6 n( b" ^0 B  ]9 r
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    , o( c! s% g9 ^' m按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. B* h7 [. Q- O/ G) U9 c
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    * U! b1 H) g9 ~" g+ D3 V: t
    有道理。
    8 W& p$ Y# I3 L. e. ^/ ~
    , j2 W; V5 y% ~8 s6 Y" V不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    : [- b/ ~: d  O  L: e4 u9 `& K! Y2 B1 f5 s, s5 H
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    7 Q0 L/ H- k" A* G
    / i: i+ u8 e6 G7 j+ I这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08, a" m  Z; {6 \' y
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

      h5 y4 q2 N' ^- r  \7 k" H! B! m这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    & j- V# g" O/ k+ W7 ^! X按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& y, v8 d8 s+ t+ i+ \6 h- B) c
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; A9 o( h7 j0 \) F& b2 Q. Y还没搞定?
    5 n3 u2 ]) c- K) ~) Q/ w我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ! F7 {$ n# q6 w, |( w+ M* E尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    & x9 B% G# z  I. B

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:544 N* n3 i" X8 E4 s
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      i) X9 p* e/ o! O所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ! @/ M! B- Y3 y" c& i7 U突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ( `2 C' R- H8 b; {3 D  W4 f有道理。" A+ r' n7 V+ [4 o' n
    6 d/ p, ~, W# I5 o4 X
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    7 G$ g1 d: L; E9 C( [; E( T& e7 E! P
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。6 L1 T7 \4 R( x
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    0 Z& @. ?, z( |5 O% u" p' V/ y& d
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19/ n. T& G' {2 Q; ^3 Q4 d& E
    还没搞定?
    # y* C, u* {1 o( x我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
      w2 f3 D4 e' Q9 Y6 E
    . K' O5 }6 P0 \
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。) g2 f# S1 f& I5 }1 f0 S
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    & L2 S3 V" E0 B3 f突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    2 P5 a9 b3 v2 a" e3 y- i  e存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    5 Y8 @+ y* u' Y) P: `存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    & M# H  v9 q& S7 Z需要用到浸润DUV吗?9 C* `9 O# A- h1 f( a" G

    2 ?7 t/ ^3 j9 Z& a我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    2 Y+ `  N8 G) ?需要用到浸润DUV吗?; h( k' N+ \/ X% ]% d
    * a0 p8 Q5 ^' K  ~& r( N
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    : o; B& B& x7 ^! _  s
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    # Y$ x" ?" @, Q9 D( j5 C可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    ' _& j, z& k' N7 e# C. W8 Y$ @
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    9 z9 O4 U( d5 M: a& U# N
    ( |* |# t( m8 w% x硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    % t5 U3 Z$ W1 z: r浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    . f7 Y3 R6 w" J8 t: ]% K都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ; q3 Q! x  h; B按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定- W; z5 Y  e; w+ s6 D6 w
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ; F! N4 {: j0 q) I
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    % U' s0 I; [0 b- X/ Z# H1 [+ U
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43; U! Z- e& ^0 ~  I0 }7 D' U8 p
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ' \5 q( S$ m% q! a: o8 F! t: G9 W
    2 u- q$ T9 \$ A9 j5 g/ P这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    # l, |+ w1 A" t! r) f都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    / Q2 U4 V. S7 c3 z
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    0 m! ?, P5 p( B7 f8 p& X" N这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    6 Z# {9 C0 E, U2 J( [
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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