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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:004 o  v$ U. B& y, I% r1 C* ^: f
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    5 s: e7 k- l3 |0 {/ @. r$ O
    ! A5 M, r" E& Y- ]  L个人感觉:相比于前一阵 ...

    0 Y0 G- f4 D! U' v) c1 p$ s5 @7 x: k! Y" q4 m2 H
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    8 }$ V. r9 m7 v6 h) {$ O' u应该会在5年内实现吧。
    6 l/ P% X" d% E, ]9 z' T* d
    & R$ Z7 a# t# w! i5 F微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    & N1 B" Y2 C, `% ~+ m, x5 K24-9-16 23:55/ Y7 S6 @% l: \
    发布于 湖南
    0 J. G0 n9 G, z% q5 A: |( _- i来自 微博网页版0 x- y2 {% u' e9 ~4 w
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机$ A  ?; V- z+ @- R! f' W
    不是运过来就能直接开工的。
    , A; k) i3 _3 a8 K' q" s& D; n6 i他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    * L, [6 m1 S, V+ b0 N/ a/ w% a. A* H5 K# Q
    这个时间很长,也是我常年说:0 w" I- \0 N0 I5 ~( `  u6 s$ z
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。: W3 Y4 u8 v% B1 G7 D7 B

      L; w& h0 G) L8 ~* ?# P9 V4 a现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。( o! m1 t/ U, Q
    8 T5 C* Z$ |( E7 E0 l% C1 F3 U
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。+ B* U+ x( }7 ^' R  y$ x
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    : W  Y( U7 T5 F4 c多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)2 s! q" a8 D  p/ |0 k' `- ?
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了' L# b+ x2 \! x; w' x8 B

    $ i; c1 W- |6 M# Z没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    3 F* b5 }' x. s4 ^普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    # ]  {, K' _- w% ?. J#华为mate70# 也没多久了。0 Z( c7 Z& Z/ i) I3 a

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06# k! Y8 J' g7 T9 y) T5 }) w
    应该会在5年内实现吧。$ P4 V3 n: U6 G8 ]% F  ^, ?5 a

    9 N, j7 O/ J7 ^- W$ k; o' {* h5 T微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    * S: {2 l8 w' k& N1 \) Q1 ?0 r8 q! h5 B) S" K
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    % A9 e# }2 w# `% }8 Q9 Y这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    7 X+ q' m- ?2 [3 E' H
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 - _, Q' `# o) j# F! c+ o
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:390 J4 M# C& r) o. T, w" V
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    ( m9 v5 o0 z! {2 {! U6 j+ z. m+ |$ @9 d. W6 ]; t1 Z7 N
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定" ^0 l4 P4 f+ ?  H
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    2 _, _# [7 V  ]不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    7 ~' [' d! F; ]$ A# c) ^0 n  _理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:546 \) G) I5 F1 |1 M
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定+ X. c/ h% G2 N$ v% n& g1 D
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    0 w% |; V) g) F+ G有道理。
    ; y) x9 S$ Z7 S2 {  x0 _" Q. z( [; r& g/ Y# F9 K  M0 v
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    0 n* U, P+ Y2 W% @  L; y' F. [: o$ ^
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。4 J5 Q" |' F; B
    7 L! Z+ t' _6 J) x
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    + E! ]7 v$ G0 G; v0 u( E理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    & Y/ F+ a" @  x; [) S4 @6 o6 ]这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54  N$ b6 A$ K) M% o: Z, L1 e
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 U' c1 v# n! L& K& D所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    - L$ [4 o& F! P  a9 D7 ]7 u
    还没搞定? 6 a3 Z* o  l2 E8 J' J
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    0 m3 T, _( x1 O& j/ C5 w3 ~尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。. t  @" M# T2 \! t

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    * ^& b; m- K. s9 i4 |按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ' l7 W( ^4 \0 N/ d+ w2 d所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    $ u& U4 l9 l* q5 m6 r* }突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    : d, P  W5 v6 E% W+ ]- _有道理。
    * q$ {1 ~. C7 e; Q- `/ |+ `" c: K: A  {4 w0 c: \
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    1 ~# Z( m0 X* d# |可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    + z( V/ E- q( ^, S% q0 z很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 # D" Q/ {# Z7 I' |( T
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19& r6 H8 Q7 a, L# o- x  A2 q
    还没搞定? : g6 Q1 P' }6 H) o) p$ S
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    5 T1 {. R: Z7 |) q) v8 w
    4 F/ R' h7 s- {/ F: w
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。+ F5 O1 R* b6 A- I: s0 |
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:219 t( s7 l- M9 g( x  p
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    # i" y7 p2 Y$ g
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31& w  @5 ?+ \7 i3 \' y! _
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    / |5 f6 k4 b( X* [: W: D2 y3 V  ]. w需要用到浸润DUV吗?
    ( m% G4 j3 @4 F+ A) R& k9 g
    4 A$ K# P: ?1 A我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:340 K/ a2 f/ X) G# z8 p7 g7 H' S
    需要用到浸润DUV吗?8 Y- f- x5 [8 p; t

    ) D9 D& ^/ {4 C9 ]5 M我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    , E: U( Y+ E, B* G; M9 R8 |2 M0 e
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23& W; t: H2 n  D. I- L
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    # J4 J! ]: W3 v; s7 `+ t
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    % K0 F( g& m$ K0 W/ q8 A# X; ]! O0 L/ H/ f
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    0 s# o$ G4 A- T8 J, r浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    4 r" r1 q" \7 O8 a* X
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:549 z  x3 m1 U3 s( f1 F- _
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ; u9 }3 I0 o. z4 Q4 g所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    - \- t4 E5 k* ]% I1 X  V1 p7 ^具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 " _0 a7 f- c$ e) v# I" m8 q
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43* {% ^/ C% m5 G5 W" t4 A1 [- k
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    2 P( ~& Z4 A! q, l
      p- |4 P' }% J4 A这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40% d, d# U+ W2 X( J- x
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    : T* f) w/ E5 o5 A2 @  Z# S不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    3 p8 c6 x! d9 `# _0 w; T* S7 y这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    % A( _) e3 n% `. B中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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