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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    0 G6 i* f7 j. J也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    * |3 u  x4 x: |0 G
    & L, p: b2 K' ]个人感觉:相比于前一阵 ...

    2 o0 J) a7 G  |. F' {1 h; g0 h9 R3 q1 I2 i
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    1 ?+ o5 e( l  Q; ~' f' C5 i应该会在5年内实现吧。
    ! B# M& v$ r1 V5 S! p* k
    ( K1 d* n; P8 x/ X- K微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    2 P; Z3 F0 c6 _* a24-9-16 23:55. Y; F/ A* I& O6 g  f
    发布于 湖南0 Z6 T4 d2 I* Y6 T9 p5 r9 e/ \
    来自 微博网页版/ g2 Z! P2 t! w, z
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    $ Z! l, M+ p  J# C不是运过来就能直接开工的。. V; f3 h, c( l( _4 b6 n
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ! T: f) K+ q" z  d8 G* Z/ [
    & a) }1 b) b. r4 Y这个时间很长,也是我常年说:; B, g$ V1 }2 L
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。1 i! i2 p+ n  G! u5 U9 ^

    9 H/ G, W. t0 o  i0 I1 g现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    6 J3 u" l7 z* f: x3 W8 \1 O) W, c. j; y* {  i8 w7 F
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    ! A0 t, {3 L# ^8 z7 i4 a1 ]2 N干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)5 i" a# U; z( A# v7 T
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)/ R5 F' P7 a2 U! h( P; ?
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    - |# Y3 `8 U) P( h- _
    ' I3 E9 `/ x1 f/ s) n没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    6 q. v/ c3 T& P' C: q4 Z& V% Y普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。0 A) [' g* k6 S- }
    #华为mate70# 也没多久了。
    : U1 U, r% ~# r4 S6 }. L* |

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ' O4 o4 i" m4 p8 `应该会在5年内实现吧。- y9 [0 _% f9 u( X

    " \2 ^3 o+ \6 m0 N微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    8 @/ o9 s0 e/ z, X5 b" C& a. x! S* a- w5 X2 \
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    ) J& V0 u5 q" R; i这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    2 w: w  |2 i6 H但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 # q+ B' t- R: _
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:398 J9 \/ n7 P) C3 n, Q( |
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    * d5 r% Q' k1 }& p0 m9 ]0 Q- C
    & U5 Y9 {% |: O按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. `2 A: e/ L* M% ~9 ]0 t& B9 ?# O
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34/ s# ?5 q; G* s! |9 X- S
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    - K4 A3 ~5 f0 t0 L* U3 G$ i; U. Q' X
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:547 H0 y: [) ~% I' x8 R
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 v' {3 c: m1 o$ v4 f
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    3 W( U+ J2 B8 N- y; R$ Z% u有道理。0 @# y; j6 K; h# T5 {
    / p7 M) g/ b& x! }* ^  A* d
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。9 f! P+ G# q; p" [+ d
    , S1 F! e' j. U1 b) L* L
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。0 A2 Q. b* D4 |+ {: B' M
    ! v& B3 f( j" L* F2 p( n4 T6 F. e# p
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08# U1 l+ y3 L9 G: o& @2 K' A) r
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    + f9 b3 {2 N% B) }  q" C# A; x这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ( @; ~2 Q9 _" b9 O: n" M; Z按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 p$ b6 [6 [/ ^9 L
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , ?5 o! T; g9 {还没搞定? % o* J/ C* }9 W" {0 G" a$ F4 j
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    - c) o+ C: T$ I$ [8 P. ^6 ?4 a' X- t尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
      t! P) A* _3 @, a9 V7 _

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54& E: p) g1 D4 X
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定0 W/ t: W8 W0 R
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 u2 P: {( L* f8 d5 [
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ) ]2 {( b0 C, u) a' x1 Y' ?有道理。; z0 f; T: ]& ?4 H

    9 N7 @, v% J& Q不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    1 z$ V# e! \0 m! b2 G# c' I可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    8 Z9 C* O) q% E( T0 ?! P7 s, v很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    + c, @3 i, `* T/ ?
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    0 Z% Y* m0 U/ \3 u/ e5 b2 S# s6 w还没搞定? 9 w  u3 {7 d/ \7 e
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    5 M; l2 l  J- I% o1 I; P  c" S+ m$ x; N- a) z5 I3 }5 i8 r
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。" W1 _) Z+ O' R
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21) g; ]3 y8 {& b. u+ r1 p) K, S; Z
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    & T% C8 F  `: V* R7 I
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31/ C# t" ?2 q+ l/ @
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    5 j' ~9 V  [, H: O: g需要用到浸润DUV吗?
    4 T, F/ S7 S! h/ t% R7 \, I
    % D" T8 S1 U/ d4 ^& V我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34. p, I3 K0 A: ]3 e) E7 |
    需要用到浸润DUV吗?
    * T6 ^, L3 Z2 L5 {  M/ [
    - C% s/ I! G$ S$ S3 U7 o7 M我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ' a9 B" ~) u( L0 x6 z浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
      v8 s3 G4 F  j# o: B$ u可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    " A+ U: b+ [0 ~8 R/ F
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。7 I! c8 F0 R% \/ r- @( o. ^1 y

    ( ]8 C3 [" q* E/ F硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    8 J" N2 j$ p- [& [浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    / Q- j. a8 _2 t7 ?+ [
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    * z- }; \* J7 A: ^按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    . k9 x$ ?' v) M3 W所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . ^& m: s4 m5 f0 p6 c6 ?' d
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 * d# Y1 l0 b6 g% ?, i# }
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43. V; V8 u: y" [3 x, s5 ?; b; ]
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    . S. ~" a8 N9 T  {6 v
    : `; W- K: P7 }2 q, w: y9 M这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40) `0 T' a/ k/ i: }. y. {# P3 [. |
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    / e8 T2 r; N/ @. Y; r1 b0 v0 N
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:137 y# F" t' M# B! U
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    / H# v' j0 J1 }& j% r9 x中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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