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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:007 M; A0 x- |; y! L" v
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!% C: c6 B# }3 g% k1 s7 f
    & R" }! M, |- Q7 w
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    % l/ o5 n& c7 ]+ L1 ?4 v0 G
    ! o4 ]8 c7 I4 O9 I% g
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ( k. E1 b" w9 ~8 Y/ }% p
    应该会在5年内实现吧。6 h3 i; w8 Q% z9 S( K/ R

    7 \/ w# ?) Q* {3 R& I( M微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    1 |% G' T* R$ ~, a  B# ]" q24-9-16 23:55
    : z% `' w) L9 S4 e! m: R发布于 湖南
    8 ?3 f% I7 \/ s4 B' J! {来自 微博网页版
    ; i. |) Y6 j9 j5 G/ g啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    : Z: _; u* m- w不是运过来就能直接开工的。/ T6 i. F' E2 m7 e0 R
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。% r) R' p9 @& L; `& ^
    # l$ Z$ Q! t8 ^& w* L
    这个时间很长,也是我常年说:$ P7 `) o/ m9 D* U* B' B# \
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。4 J8 U' P9 \# V) g1 t7 Q1 G
    - x' C9 C9 H6 F7 z; y
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    & N& v" d+ c; v) n
    : {" @) w$ S# n7 O简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。/ V/ K- \+ L. _' l  ^2 n7 q2 M" a3 c
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)8 z9 J6 Y7 c. u# y. p6 u
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)+ U& H2 T3 M9 C  s, b5 U" E7 s- r& M
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了$ a) y7 p  O# c# n; Z* `

    . n0 M( u. _3 r( z没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。  K& F, L1 Z: g: B
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。- x; H- o5 N) ?. l0 h. w
    #华为mate70# 也没多久了。
    9 ~  ]1 R: Y# Q9 |

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ! `/ @; X$ T; j: {1 h* C应该会在5年内实现吧。6 G3 z; D8 y/ ?; B1 H- H* e9 o

    4 T, {0 R: t; C微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    0 C1 L6 a* m, q. b8 U: p
    ! m& p* a8 R4 y3 P  j" ]8 z/ @这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:157 {- K1 q, n5 h$ Z; D5 H
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    : t% r! i+ t, |# @
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    . O% M6 J) S! E; D  @
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39- @% X) @3 F' Z4 u2 P8 D
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    8 R) o% f) f" X, A
    2 a- q" c; I" A8 d按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 f6 s; u7 X0 [# I! G所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34/ f( p! f" `; {& h( z
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    7 P9 R- ?1 x. E0 y" N* o' X1 T
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54/ i3 I" h" I# z  d
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, i+ N) G  Z( @: N2 d
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , q# t3 I3 R( F* c  M* i+ U7 o- Y有道理。
    1 \$ A$ z5 Q3 Q( `( R
    * g* @% O8 m/ X6 a5 e; F* F3 i# G不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    . A0 n% S( T7 d" W" Y
    0 U9 ~, B1 n# m% Z. @中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    ) u. e- X# U0 {  u' s
    5 {+ I0 N/ `2 k" S! c这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08, ?; B5 |. M3 C2 E. m! K$ L* P
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ' B2 g  a! {6 X2 b, w8 p这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54" |$ P5 S" M( h, W3 {" C
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定$ _+ z& M% b2 i5 _( z" M3 M$ u5 z
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 i8 B! K4 y/ ~' [4 Q+ P还没搞定?
    7 j1 D- @9 U0 c+ i* s' V: a我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    0 R" \) M1 O, u尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。  e1 @3 d! M: \' k; n

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    * K$ ]1 F! f: G9 F& Y( U6 x5 K按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 F% k. Q, c: I$ h2 e$ p$ i7 |
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    2 g6 d/ Y# j5 S9 M
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13% z' A" i& [5 ~* A, M
    有道理。6 E: V. F+ m& c3 ^

    & x% ~7 t! D3 V不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    . S, `0 ]. K9 }, a, l: c0 K) o可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    4 }* u6 D5 |% t& z很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    : g+ Z, q2 g, p. @
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19) E7 O% I* w' d) L: q$ K
    还没搞定? % Q) e3 W$ k9 V& H& b9 p& E
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    4 _: Q! D. f5 r8 C! W5 o& j+ m/ V) A+ y+ t2 ^3 I  y
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。# k- ~! d  L" y* k9 L2 _% Q
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ; W' K0 Y, @' d' M突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    0 ~+ q' ~) P  h- U" u5 n
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    - @, ^9 Z% x4 d3 e0 e+ r存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    $ p4 n) Z; A4 ~0 H
    需要用到浸润DUV吗?! j& W4 v) M& N' l; x! \1 x

    5 e8 I$ E+ h" e2 e我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:340 a( A7 s4 Q- M- M  W! z
    需要用到浸润DUV吗?/ Q! _, z% M. b+ ?5 X* G& Z. z
    ; F, \" I% s7 c& s/ y
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    , K- B6 G% |. e: K" v# k
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    0 w% v5 k. V& E1 i/ X: {可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    3 {" V& j  r  G1 ?9 M是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    / S. _3 K0 _, n0 R% i
    ; V3 t! _+ A8 G硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ) _! ^% M( {& u" g$ z  m浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    + w3 u/ |: B2 v9 {" o" ~都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:544 [0 e! p* K( A% D( h9 s
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' h5 ?& |4 ~" p+ ~
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & r; v) c4 D8 F' \" V4 A
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 % I2 R; e0 D' Z, J
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    & @* \" e. S( g1 w5 [具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    3 ]8 U# s* j  W/ b+ X: K$ X% s- J! g$ ?
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    2 B9 ?4 `1 S4 i) y4 T; ?2 ~0 V. s! e0 _都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    $ u& v3 [( X; i7 m2 v* y; J不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13) ^. @% S2 s- h: {5 Q
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    - \4 S6 O8 G9 P, [) v
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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