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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:004 O  J) N* {- a
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!; g& D! \% Y" Z# C$ I" m! X! [+ J

    / _& B0 R+ w3 C0 K个人感觉:相比于前一阵 ...

    * k" ~$ o, e) J8 \+ a' [5 ]0 @4 o: k. c& a2 f
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    " J! i" _- s! H, b. i1 I; p
    应该会在5年内实现吧。
    + |& ~7 q6 R7 k( m) ^/ C8 h: s! u( }" B. p! j3 [3 W
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ' f8 j& p! ?. Q0 F! X  \24-9-16 23:55/ A! Q0 Z/ T& O0 ?: \4 c
    发布于 湖南2 ]0 r4 W1 h9 J6 {& Z
    来自 微博网页版
    ; w: |9 {3 P1 }6 z+ E6 O, S! {啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机3 k, i7 B2 W) ?1 a! E9 E4 Y, y
    不是运过来就能直接开工的。
    3 p3 r$ @: F+ `" A( T他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。5 ^2 d, ?- s' k9 [. o" o

    $ B4 y8 Q3 [4 H6 u" I/ E这个时间很长,也是我常年说:
    - J6 l4 D% ]6 a7 t  q就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    * C3 r8 G1 V: J6 ~1 i) M: O0 W8 P. ?0 v( ?9 q5 t) L, l
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。0 N7 J3 B1 [2 h! c" u3 O) M  w* B
    ) C7 e8 p6 P6 `- B- C- Q# Z2 B5 O
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    4 e+ r; M5 |- C- n7 ~1 @" D干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    $ F0 Z6 x$ V. d9 F6 a& N多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)3 P6 E6 [$ m9 e2 N+ F3 Y
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    * v7 s9 Z( X; J1 v8 i8 Y. K! d1 z. @5 w3 V/ h5 H5 u/ Y
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    - L9 P0 h3 R3 [普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。( Y+ y) C0 Q9 S" d5 ?8 b' A
    #华为mate70# 也没多久了。! l! O: c8 J) B7 F

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06+ c- ]% D0 [8 W) p; V  z1 a
    应该会在5年内实现吧。* L4 P( O. ~$ _/ K1 ?% Y
    7 m2 k5 y7 }  V+ T9 s, k
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    $ c0 q- y& q+ V: s2 S4 ^. X4 ]% ]8 i" q! Y
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    / O# B, a, ]1 |2 a2 Z& b& L这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    7 a% y  P8 a) [; n. B: M/ [) d但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 # F% d& ]2 l% @3 O/ V% Y
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39) m& C2 ?: G- f2 z) Q
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    6 Q1 F# S& P6 _
    9 g5 a! s+ c' `- t8 D
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定4 _, ^2 |# a* A9 b! w
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34& O7 ~7 r7 p/ T2 V& O9 [
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    / C3 D# L; ^9 |( h: W1 x* @* ?
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    2 y8 o/ E1 }# E) r% N按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& v/ t1 U- q+ @% ]7 Z2 v8 l2 q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ) S9 J! u( u! L+ v. e# ^) M( U5 o有道理。
    8 g+ N& T& {8 w
    + D" x( n% F, f/ u- N( J" j( Y不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    0 C! k; E2 F0 l- R( P
    8 b8 u, ^: g' m! O中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。/ |4 Y7 q' `5 F2 U8 Z! U

    + H; Q; S: g: Y$ j& e这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    # w" b& J3 k6 J# ^4 _理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    . M1 D% R/ p6 C' L% L5 g这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54# `# k: \0 x# s" x8 M0 _4 n
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 Q( y" W  f8 g2 C. {( b所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    / @; K% @' o9 A4 h- A8 s
    还没搞定? ; {; y. ?! U6 B/ i9 L
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。0 u1 [( H' H  P7 p9 U& C/ G
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ) s# h2 D9 M# F* {& {  {% h2 w

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:546 h: J5 N' P7 i
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    . m5 x3 h! `) S$ H  `所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % Q& c! T' }+ D0 F7 p8 A/ \) _突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:130 _" s7 v* q/ v6 t1 X0 ^, L
    有道理。4 h, M" `* H" a! ]' h

    : C$ q- d- c/ M' |不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    , N2 A7 P' U1 e3 H
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    2 Y0 e7 O9 S  Z* j. F; e很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    6 W: N4 V$ y( V$ R# T  l# O
    雷声 发表于 2024-9-16 19:198 B9 m6 A/ Q7 U% U; A. W
    还没搞定?
    ' V  ^% v8 G0 I/ J! \) s$ z$ k! P我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    ! G# t' E; N+ A& N) V3 p/ l( g, ^- o, O5 K3 ~
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    6 a' F# R' D" _有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:211 g" v5 U. a- X# g4 u
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    . `4 w* d' _. [/ ?存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31/ ]$ V1 w+ Q8 W% ?9 G: N8 I; u
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    # ?5 E$ E, v  t# t+ G% n
    需要用到浸润DUV吗?
    5 D# |  b0 @% b* K. b/ A- P1 g+ f( B
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:349 O7 d/ g5 p* P2 @7 n8 \) E6 A+ r, }
    需要用到浸润DUV吗?
    : B+ z7 o& c. y+ C  |! j
    , P) p) X0 q+ o9 z2 Z! [! s我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
      ~& Q4 c, Y/ m( a0 S, }
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:233 m8 c+ r3 I" ~
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ( {  v' \  E" |: K/ P0 A是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。6 u6 D  t/ {+ P5 c
    ; @* [4 b( H5 Q: }4 h
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    % ^+ F( ]7 Y2 x浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    7 _% x( s7 @6 a# L5 I) ~9 z/ X" `都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ! S& j) ^' p0 N按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ) Z( p4 R* B/ X+ W9 L所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 K' X1 H" C9 y# v1 |8 [/ p
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 3 g& {! Q. k4 Q) K8 S! Q( \, W4 J+ C
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    % b* X" s9 c" A! R' e" M. N, R9 [具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    " @8 [. U9 u# }6 ?5 G# w5 G5 ^, O
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ; c( k+ H7 |& b+ Q- R都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

      I" ?& j& G9 y2 J. w3 ~& @不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13! _  {8 P$ G) v( \
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    / T+ K3 ]5 }2 J4 G- Y4 c
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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