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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00, c+ V6 G4 w0 o. e# j" {5 u
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!0 G0 F6 C0 c$ J

    ' d9 S3 x/ z- r) f9 `个人感觉:相比于前一阵 ...

    3 H9 P/ U) r  ^2 F
    1 m' q, N- d6 U" Q! j! W
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    ; f. M8 b% M  M  [% }' L应该会在5年内实现吧。
    $ l0 }" w: w" l. t3 o+ E! h
    , r2 I7 i4 C) P" E; J( }微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    9 |! J4 z( |( g6 I' O24-9-16 23:55
    + ~; _  n- P& k7 K% G发布于 湖南9 ]) m1 z9 F# ?; w* T( `! C) M
    来自 微博网页版
    7 [  h- h" y6 Y啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    4 @; I3 N5 \& ^+ p+ A不是运过来就能直接开工的。
    , |2 g, D2 H! ^2 u3 ~2 B他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。- C2 W3 ~' F5 Y

    6 u: c( w/ b% V& ^" R这个时间很长,也是我常年说:$ |- Y  v* U! C. E
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    $ ?/ G- p" n# j; k' A2 |6 x" n5 |# V$ D
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    + z' Y7 v: }' Y" _7 |) q& O- G3 F$ i/ e! d2 B
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    5 n& @$ ^3 n* G7 A  f干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
      v; p+ P! w0 b5 ^多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    + {7 |2 t; t) Z  W+ [' H! d1 ^* r但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了" T5 I: e! j2 K$ j  }

    5 B: H7 {8 H# Y% a* D没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    , H& Z6 S5 ~9 J+ {普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。+ d# W4 }& Y2 {6 E: x2 B
    #华为mate70# 也没多久了。; r' z* k5 E  p0 ~/ ]

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06+ w. m% C6 D/ r; g6 p
    应该会在5年内实现吧。
    ! }& r/ Y8 q! {6 L4 b, Q' \" I
    " d# }! ~7 t# b& @$ s! V/ G微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    # _- z1 I: R& v9 ^; A
    8 a5 T* B# N2 C$ d* _/ o这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15: s3 T3 k. U% O8 O7 {
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    & j5 {& n, w1 R0 X8 s. Y2 @5 L3 h2 m但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    & I; T9 c; w! @& y: ]' y7 [4 _
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:396 L7 n% z* `' G9 _' M3 i
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    * u5 u6 d" o  [$ X' o

    . c3 f* V+ a3 a% J1 u0 [按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定  L3 Z% X) U9 J- ~
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    . N9 [. P8 j5 a不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    0 A3 Q; l0 K3 Z# Q3 S9 d
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54- z! @3 D& q( J3 k* ~5 h3 a
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 A# l9 d! m  p! }; ?5 f* j
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    % w# Y- |# f7 w1 x
    有道理。
    % _' h2 E0 j4 k) t  J6 N/ E
    / \4 t7 E! Z9 ]0 y% a- q* ~' L不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。# |% U; b# m. o) }8 Z4 p4 f
    1 i% q1 b6 [! K* b7 v6 z/ L6 C1 y! i
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    - C$ k$ U- |+ S4 N: K/ P
    2 G) R. p( B7 n& I这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    6 L! K+ i- e5 R9 l4 g  v- {7 ?4 O+ G理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    9 m8 x+ t7 A$ f* I
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54+ B; O6 M- Z% Z: |5 [
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    # Q$ N) t1 c; s5 s6 G& M所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ' y! x/ e4 x2 P, O
    还没搞定? ; r( U7 ]! B9 Z8 v2 @! X5 ~+ D; x
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    $ e& n$ h/ Q' r尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。' ^  Z3 c6 R$ n

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:548 y6 o% W: A5 Q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& p4 e' S1 K8 I
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    3 W$ X, L! |$ p6 A8 |0 g' a7 T& n! O# P突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
      A, w% |' }! n/ W! i6 F有道理。9 g, G# A2 K9 _- W3 I

    ( Q$ d) @* G' A+ b- ?  \) C/ N不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    8 i' J; \6 C# [; W0 z. d
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
      T6 o+ H3 N# e; u6 o- h, R) D. Y很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 ! r: l8 ]! A# ~4 `& a5 I) M
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    6 G2 t) P+ V  j6 c5 \还没搞定?
    ; l5 e# I( A: G2 J4 b, _% @我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    8 n4 B5 @8 [" z, l+ d% s% l! Q( A$ U, s; V9 K" A; K4 V5 F& Q
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    2 W$ a4 ~" |5 c5 B0 ^3 F  T有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ! T  f: U& q, M突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    # E0 C# ?% E( q7 [: X" Q存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:319 }1 s, C% S) v8 k2 Z2 ^
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    / w, _! s- W/ P0 r7 Q4 B6 s3 w( K
    需要用到浸润DUV吗?
    , U: A7 m: j9 ]# T
    9 @/ T6 A* B. d" W" p我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34$ W/ l0 }2 P1 h$ _2 y" y+ s7 A1 D
    需要用到浸润DUV吗?
    % L! I% U# Z6 S% `, N3 B* N9 ~- `5 n9 ~6 P6 E' S: m9 N' l3 C2 l
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    * o" I. Q0 P1 T- _: ?浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:236 o: O& S3 `  f4 F. g
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ( M+ q! H6 N7 `) L是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    ) t$ {$ B) z8 }9 M3 {5 E1 y: x" j( P3 u' T4 S! ~
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    / _$ r4 E5 [' }( S浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    : |! P" C; _5 C9 Q+ E都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54. D7 b+ q- V! W- X
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ( B4 g' n( `& K, d+ G) S4 C$ A& t所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    / }+ c& a2 N3 _3 G+ Z8 `' k
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ( u9 r: X+ X+ h2 y/ E
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    7 u9 S+ e  [+ P9 w  I9 L% C具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    9 ?5 n5 t! t" Y. n; R' \2 r& j$ r0 ?6 \: ]
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    / y, v5 X# g0 C2 @0 L都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    3 u7 |/ M& d) }: f0 [* p
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:133 x+ G6 m) |$ w% h8 w
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    , W4 m! A: k4 Y9 H* T7 a2 ?
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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