两则EUV相关消息很有意思

晨枫

国产EUV的任何消息都是长期讳莫如深的话题，但近来接连有两个官方消息，值得回味。

9 Q  e) B9 b3 a9 N; ^9 ]一、工博会上，朗道燧岩首次公开展示了一台极紫外（EUV）光源系统样机。据解放日报报道，现场工作人员介绍称，该光源系统国产化率达到90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。当然，这是样机，离量产还要3-5年，更何况EUV不只是光源。
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二、彭博社10月14日援引知情人士透露，欧盟正与中国展开谈判，希望中方解除对辛德豪瑟材料有限公司（Sindlhauser Materials GmbH）的制裁。辛德豪森是阿斯麦供应链的一部分，相关制裁已威胁到其生存。欧洲对中国把这样一家小众德国小公司痛下杀手很感惊讶，也对与中国“互换解禁”多有犹豫。
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中国有已经量产的浸润式DUV，具体技术水平相当于阿斯麦的哪一代不好说，产能有多大、能不能“踢开阿斯麦、干中国自己的芯片工业”也不知道，但中国必然要突破EUV，这是肯定的。这两条消息从两个方面旁证了中国EUV的现状：离目标不远了！

中国在芯片制造关键设备方面，一向少说多做，做到八分只说三五分。也就是说，朗道燧岩的EUV光源离量产可能并没有3-5年，而是更近。华为是到宣布M60的时候，世界才知道华为已经悄悄突破7nm芯片的量产关了。当时还有人怀疑华为是否会遇到产能难关，因为DUV多次曝光是要提高次品率、磨损设备、损失产能的。华为是怎么解决的，现在人们都不知道，只知道华为重回手机市场后，超过苹果、MOV回归第一，并无产能问题。

朗道燧岩的EUV光源甚至未必是中国EUV赛道上唯一选手。中国对敏感科技的“正选”一直保密有加，如果朗道燧岩的EUV光源是“备胎”亮相而且公开信息没有“失真”，就更有意思了。这只能说明“正选”的EUV光源技术更加先进、成熟，离量产更近。
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辛德豪森是另一个有意思的视点。辛德豪森被中国“拉黑”的时候，所有人都很意外，辛德豪森自己也非常意外，不明白是怎么上了中国的制裁名单的。
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中国对稀土出口用户增加了说明去向和用量的要求，辛德豪森有义务如实申报，但这未必是遭禁的原因。阿斯麦的供应链很长，辛德豪森不是一级供应商的话，申报了去向和用量也未必能联系到阿斯麦。公司的如实申报也只需要合规，能简略必然尽量简略，不懂行的话，审核的人连是否简略了都看不出来。只能认为中国其实是摸通了EUV的任督二脉，这才顺藤摸瓜找到辛德豪森这样冷门的小企业。这也意味着中国EUV实际上已经对核心技术、外围技术、上游技术都有深度理解。
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) u* Y! A$ d( C5 {- k. }. b中国在用重复曝光DUV突破7nm之后，外界对什么时候突破5nm一直猜不透。台积电、三星是从7nm开始使用EUV的。有可能中国看到了EUV的曙光，决定不必再以次品率、设备磨损和产能限制为代价，强攻5nm。
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华为的“逻辑折叠”开辟了新赛道，可以在现有7nm的物理基础上，实现更高的性能天花板。这条路也打通的时候，可能正好与EUV上线重合，那就如虎添翼了。