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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00: N) t( F- u  Q/ N
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!' d6 \+ S+ ^  }% O, K  C
    , I/ h6 E0 L# ~6 Z$ p" ]( u# L1 C9 x
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    1 k  }- A$ c" v3 D/ F# e* I5 Y* F) b# `( [
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    + |2 ?) b% n- z6 E
    应该会在5年内实现吧。
    : Q, R' |. U: a5 D' G# S
    ! q7 q0 k0 V2 r, |% b! A$ b) Y微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)% B3 z4 T; `. _: z; E6 B+ Y3 e7 \
    24-9-16 23:55
    / `" q$ c/ b5 r2 D! |: A发布于 湖南% }+ p  K: I. D( \$ c$ f9 L* u
    来自 微博网页版+ I  S& X/ I8 G# g0 C+ F1 v
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机" @: c: S" K" u, n1 L" a* y. o
    不是运过来就能直接开工的。, s) s- Z1 R( ^1 K3 }
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    , P- F/ o! U2 D: b$ N. {+ b/ i" k+ t/ [+ i
    这个时间很长,也是我常年说:6 R  P$ c# F" k' E
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ) G7 f( ]7 o) n3 K  d
    ( F7 n" a  x$ R$ c9 o$ g( }现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。$ ]. Z# z( v+ Q! A5 x: \
    8 E" s8 F$ T0 L( S+ K* Z  p
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    7 L) u# G- Q/ _0 I, h' }干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)" v0 t8 r1 m" `, K/ g
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)7 z$ }0 B9 `& q# y2 i( ]% @
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
      G+ ]' x; I/ x0 z! ~8 `7 Q' w3 H! q/ F4 `& ^
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。1 f4 I- |* {0 W% L4 M
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    2 x( N: j! d& ]/ C#华为mate70# 也没多久了。
    6 v- n$ K; j( O2 j- H, [5 e: T

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    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    3 A( Q* e. z% W5 V应该会在5年内实现吧。" O( Z& u6 s! G7 x7 X
    + X4 J2 w# _4 Z7 w) F* {
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    $ g! U( p8 ]* {: e# t' Q6 G: O

    0 t2 ?+ I+ S) R# O这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15+ e$ u& W3 ]  n5 T
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    % Y& W6 _; K( c7 R- t$ }# \
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    , M; O, q+ W( r8 l# u
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39' }- _( l+ e& \9 `
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    ' F3 k8 ^  e4 v' p7 P- t: R4 m4 W7 E  `
    5 I3 c6 I7 d3 n9 }
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    % e1 [, ~1 r, @所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34, E( Y+ S% L1 X8 k& G) J% y$ k$ S" F
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
      B+ Q5 M- o" r# f
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:549 ?" Z2 V: j9 s% |
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + ~! ^3 c* ]3 S; ]: `所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    2 H3 `0 ^; A3 O" M+ o
    有道理。' ~6 X5 W/ y0 C! G' H; f& v$ g
    & r9 k* R. o) i6 ^8 y. z. [
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。$ j: f0 Z" A& P% C* V+ G& d/ A0 z1 |
    . y% P' `' V& y- w4 a
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    0 Q8 h9 [& y6 R+ X0 p, a2 V) J, n6 z
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    1 p- Z7 s! O2 z/ p' {理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    : u) [8 c5 e( l, u0 _这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54" k! L6 p; ?/ ^$ M2 }0 k( w+ L0 P
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: _; v; r6 S0 N
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    / n& K9 P8 ]/ g
    还没搞定?
    ; g7 x: e3 d1 e0 N; V我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。. l  d# t. U/ O! T$ j- _; v
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。6 A" j# y; g1 K9 {7 z

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:545 E- ]! I/ z0 ?4 R0 t8 }
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    3 X* ~0 ~2 e5 N; O0 E* Q* _所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : s2 T- Q$ T6 ?$ N
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    9 Z" p0 p1 t/ p- P, D有道理。
    ! a6 T& {+ G  ^) o8 ^4 i& k9 K
    & }/ i. h( X, y( I: f6 @不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    " t  u. q3 w/ e* z
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。, {+ p# N/ w6 b
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 ! `4 ^0 G$ t, p; T: v
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    $ d' h2 V0 m, [" ~) ^! C还没搞定?
    1 e# e0 O5 O6 Q我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    9 U/ t" o' T" M% ~

    / g# m; ]# q- p" L- iNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    ) @( m8 [" \$ W  W4 L有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:212 U* Z9 S3 N2 s3 Q7 W; r  \( n  P
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    6 n9 P8 n: n" G! c+ V' f( }2 E
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    8 s: M3 O! E/ V" s% T  G存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    0 \" }8 q8 `( @7 Y" z" U0 i
    需要用到浸润DUV吗?
    3 f' m6 e* d) y" M9 K+ c
    ! v6 Z1 P4 E! Y我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34/ e6 O- ?6 @$ @' \: L
    需要用到浸润DUV吗?
    3 @6 l( h- n3 Z0 L. ^: K4 _3 K+ P# u  {
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ' Z% J8 [5 f5 S浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:237 |, f# ^6 D7 l- t" R% J
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    9 n' _! _0 Y/ S* r/ g/ \0 c. U
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。5 C6 z. N+ A. p$ {7 d; Q
    ; P1 ?( Y% ?0 C: t+ }
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ! u" t+ a8 @# P/ \浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    " n% w+ b( l- ]  l都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:545 C) L' s7 ^! K( |5 f( W
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    3 ]0 Q) t! ^8 r; T' S( e  A( x所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ) K6 U5 W6 U* N具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 % ]# _* ~& B: J6 M7 B. |
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    ! o: I5 O2 c, M# z9 u1 A; v具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    + }  C! {4 M" d" ?* r
    ; n: {* B4 i  {3 Z& V# k
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    0 S% p- Q. w0 \4 e" Q9 m# Q都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    . `0 F1 K$ x9 v: x
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    * m! u" e+ I1 I这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    8 g* x1 g. n0 n' i2 T( G' ~/ a中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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