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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:007 t# e% p9 D0 I: S, D9 c
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    ; \8 O+ M  u/ @
    5 i7 d4 }7 ~3 O+ G个人感觉:相比于前一阵 ...

    ' b* X" r  x; `$ X; Z( F
    6 K, w3 h& C+ a
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    & ]' Y$ d/ ?/ ^% h- Z" m7 ^+ S0 E* \
    应该会在5年内实现吧。
    7 C: z8 D4 ^# u2 `( n, _: v5 z# C# |  ]  U" E8 v! E1 r  F* ?
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
      y# _& H+ [$ B8 V" |$ B24-9-16 23:55
    - R) u4 `9 b; x  F: R发布于 湖南2 ]1 E" a) W1 C" U) `
    来自 微博网页版7 \' L( U/ @' y) L# H: j* u
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机7 W( Y; Z* H$ V( Q! @$ |' V3 l
    不是运过来就能直接开工的。
    ' a, c* n2 A- T: n; c9 _) Q他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    6 @3 ^; B" l& R
    8 O' |5 S! ~3 U这个时间很长,也是我常年说:: l' g) X9 s" T* d" L
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。3 t0 a- S6 D) v# I' n' C* |! J
    " v* _! l  D1 n0 `' E/ q( q
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。# u/ k' Z' ~  e, U$ [, j( {% q2 h( s
    ! F* D! ~8 |! G! J' E
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。# t, E( q% }5 y) c0 \
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)& F# ?7 ?3 b. [$ [7 Y
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    ( u9 M3 }+ x& R+ ~但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ) ?% X  @% o/ j' v6 v. ^
    ! d$ y& I: c4 g, |, S. `9 Z- ^没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    ' d8 S  z+ G1 ^普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
      Y& X+ k7 [0 m$ Z, V#华为mate70# 也没多久了。$ ^9 G# e# g! S( g

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    5 }3 q% Y3 ~, m1 Q* P应该会在5年内实现吧。
    7 D( P( Y6 c% e- n: Y4 c7 z8 b: q. t7 H8 ]
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    9 _+ h5 E0 K5 B5 z; L# N& y2 s+ h8 j$ ~. G
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:159 y* u) _% u6 b9 D( i+ _) c+ r8 K
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    9 R. C% `8 M2 g4 v: d
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    3 |# h" `& X" k1 K% O8 ]0 A$ [+ w# r
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    & R* R  k1 S# Z( y/ v9 _, R但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    ; Q4 R) {% r% K0 N% A) q
    % H7 k" W' ?1 Q: x4 f
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定9 c3 y2 O' i; Q- t9 q, _. {  \9 U( U& R
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34- R, b0 L* y/ A9 e5 g
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    # n1 z3 Y! A9 E# W% T
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    6 E: X- `% v) A按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    6 i8 p( N% L( P5 ?& D" K& D. b所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    8 L  Z- o" p' M0 {2 V有道理。- E. v. s4 _  J8 m/ C' V
    ! g7 L% A* }$ F' o+ D
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。7 h+ ~* |. W, C$ v! u
    7 \  H2 t1 C, O3 q% [# _
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    2 D) n' s4 ~3 i/ @; o# @6 C1 \. R
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08' z# b7 ]4 \. ~& q6 m
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    . Y) H2 H7 X2 D
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54$ l- I( f% o; x* {3 X8 s# K% }8 L" _
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 ^8 u) f* x" N: n所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 G3 x  d) p4 }; p
    还没搞定?
    0 {  C$ C+ E/ c我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    # ~) h7 ?2 T& p尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    4 F3 v( ^* O% Y* S3 x% w7 l/ T5 \

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54& }7 p% m$ f1 Q2 ]* |/ \/ i0 @
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    : H" z, r' E, z- i0 _+ R, @所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % O; ]: h# E; B: [4 r  t: R% W( _- Y7 p突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13# I( g+ t* l& X  J  M  e; g
    有道理。
    1 [! v0 E# Y9 x. ^! \0 y
    6 [) o- F7 E9 w9 S不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    0 g" y3 M( o- [' N6 r% _! a6 F
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    ' j+ ]8 H  \3 P8 m! P; \很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    7 E, Z* Y( q, R+ @, [3 Z
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19& h; Q8 w2 x1 `) E
    还没搞定?
    & _8 v1 X, G2 n1 H( {3 W& D我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    3 a  ?# w: Z# l' |! {

    ; D* X* ~* T( B  @0 ^$ UNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。5 l  F  S9 I; J* D7 [% z
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21' a$ i1 V( L' M6 ~4 p
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ! c: Z8 y, G% v
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    $ H* u" M/ x1 S: H2 R: h6 J& l存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    # ~8 G8 m" N0 y' I& ^需要用到浸润DUV吗?1 ]! b0 \% e- G! \: o" \0 t# d

    : p. b: |+ M$ ?% ^& Z' y我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:345 v. k4 M- F: z% X$ J
    需要用到浸润DUV吗?
    * H7 w% N6 W) I  r& k5 ]
    : e, J6 U* C! x" s我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    / \9 B) M1 a; B4 c
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23" Q, v4 m. \: q* \$ L; c: s) i
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    2 I  Q5 I4 j; B, A- d2 U8 n1 s是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。! l8 U# Z0 i/ N2 f! p

    9 B6 ]3 _3 L) g2 A! a& s+ u! K2 w硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37: r; C5 ^2 a% o5 N3 j( L
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    1 `5 m4 R# a0 b2 F' c
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54& Z6 b% [  v, S& W! e; j4 s; @
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ W/ _4 `3 Z$ U( I所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    5 `; o2 C. Y* E具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    7 e6 N* e7 K2 ?2 R: `
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43" p' ^( |" ?5 b+ E
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    & ^/ C: ?2 k) s# H" w3 B
      e2 Z  X; w* N' ]( M; S4 C这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ' Y4 t5 b% l9 v! L* k: M" o1 u都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

      P8 z+ `) E0 a不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:136 b8 Z" A% k7 p3 z3 R/ {, R2 B
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    - A+ T7 d) z: w2 {
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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