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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    2 o1 S. g' P( [' l% g+ O# O: |4 j也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    + z' P& r) l' g) E) Z% H. z6 s5 m: N+ t. ]" ]$ J/ P9 g1 y
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    9 E; ~( @' I1 Z( G

    4 H6 @( l; {: h$ }1 l/ P7 ^
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    ' Z0 S9 I/ r+ y$ Q! i# ]应该会在5年内实现吧。
    4 `, t6 `# k1 L3 r
    & V# c- F2 a9 H( e3 F" V9 B2 i微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ) R4 A; c' H. p1 x0 w9 Y( Z24-9-16 23:55
    + K( z0 O4 e! {5 L. a9 `发布于 湖南
    , h6 W  K8 N" ~3 O来自 微博网页版; n2 z2 I& p3 y( t; O4 \; w6 b
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    3 \5 ?; L0 y/ {9 a9 @- ~& ]不是运过来就能直接开工的。3 U2 K* ~8 T* Q
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。: X$ o$ X% A% q. @4 T
    + p: i* r9 R& {2 a. U
    这个时间很长,也是我常年说:: ?# f/ E/ E0 a6 H
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    0 A* v& P8 Z1 u/ Z% |) k
    & N; y# ]# ^6 @1 r* c# z现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。/ S* s! c2 d9 j) a1 o/ s

    0 ?: n" z" K# d5 W0 F! N9 C简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    % M5 q3 \! z) f; e5 y干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    - q4 k8 j5 ~7 I: q+ i) ~* }多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)0 S! F( ^) B2 {$ i9 M
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了, z8 q& E2 D$ U! k
    + A, ]2 r8 O5 g8 ]* x
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。- ?$ ~5 g! p+ K; Z
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ) i' n0 i3 J3 s8 c8 K#华为mate70# 也没多久了。/ c4 j# Q1 }% `2 ]' N/ q& a

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    3 ~+ U- I0 g0 e& [5 C0 v/ m  j; e应该会在5年内实现吧。
    / q  x' B) [8 G% n4 Y& i5 v" D7 A4 Z1 D2 ^# T7 g0 e+ |
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    $ O6 f9 P, D$ ^9 z

    " j) o7 n: w* l7 ]! Z! Q这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:154 A6 }- V3 c- x
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    . L3 q0 Z+ o$ v  s但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 3 I; h% F- c8 Y
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:391 ?2 D# n) H# G/ o( c, }8 o4 Q7 _
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    3 N; q0 {) z5 Z2 P& b) s; N1 K0 g9 {% @& F( E, N! k9 O+ m
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    / Q, v3 _$ @2 g3 `6 L& M' f所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:347 D5 V/ Z2 ~1 \) x! _2 L0 V
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    1 s' r! c1 o' x( w; h$ m
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:542 k- e. p1 ]* W4 _% ^4 H- a! a' G
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; s9 k* V: ?1 c) X% z  F
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    - Z6 U1 F3 Q! Q8 M7 d: F有道理。3 l/ |. d+ v6 h% T
    ) c9 K% U  `# [1 {! N/ z
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    # g" j) ?+ ?, H9 E3 ^3 E- J( I; ~: v/ G( l
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。$ O! p4 p/ e* _4 \' z5 s/ m5 c8 N* \

    ; A8 _# v* \: y* K' M' f7 S4 h) r这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08/ v6 J8 V% k% `
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    + `, Y- n1 G% n, k& O& e
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    $ E+ \: E$ f" c按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定+ `; U6 x) S& \$ p$ c. ]
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ' f8 z. L6 b6 T8 C7 U还没搞定?
      r6 d2 c! D  f" f1 |9 T/ u我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。5 |7 G6 n) w2 |
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    $ P- |/ r& I4 k! @  v5 |

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    4 f; C) [! `' B9 Z3 E/ U3 C. ~按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    # Y! j5 V8 L- X/ T$ ~所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    $ ]( \# E9 i: ^0 e/ V% |* [突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    " v: n2 |- G4 c有道理。0 E7 b0 H1 \- ?8 n

    . k5 l# z  n+ l6 Z$ t' H+ D" |不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    1 M, J* G2 L5 W5 M  q3 f可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    ' s, {. S0 X7 J  N很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    8 f7 x$ l; T$ S1 X( z
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    5 e" W, F" Y. ~2 s/ g+ h2 z5 R还没搞定?
    - Y/ X- [3 J% q/ f" ]$ [我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ' K# W" {7 r3 u( @0 J

    7 ~' \1 Q" i0 z8 f; X- r( N( @( jNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。" G4 ]0 J8 k  B* v& g
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    . D2 F6 r3 ?3 P( C4 U7 D突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    ( ]* B5 e1 x2 t. S7 }存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    & W9 c' }( Q( O5 [4 H存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    / l& z+ F# [$ D1 }6 F$ U- v  _
    需要用到浸润DUV吗?
    1 _5 q5 I9 }7 J3 V. t2 D4 r4 R( S0 u& J$ u3 j
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    , t! \+ [) o: p- d; Q需要用到浸润DUV吗?/ L: Z0 r' g6 X) U/ c

    - o$ @. e% H7 X, q5 X我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

      J. ?2 }4 Z0 u+ Q6 k8 P# j; z, y浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23, o  d8 I6 y/ h) R! w, @
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    " Z  t. L' b+ y- K( b# P
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。' Z% ~/ I2 m' K0 t8 e+ I

    + ^1 q! h7 q) Y2 k) m& E& l硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37- Q: j5 P, Q5 \, Q, z( k# n
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    5 a  z  E: R, _6 N都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    / e; d4 l& U9 |& d# m6 V9 c按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ! i3 [0 F, b% P2 j# k所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ; s/ ~1 w- W. w- E$ _
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 * ~+ Z0 H3 J9 z; ]9 \- C7 q3 l! L
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43( T& D8 C; q, f! h. f
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    2 T6 a/ i1 ?' g+ B% q, o3 d$ P* `. ^9 h& E, Y
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40+ _: t/ r  ?4 O: y4 ^! V
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    * F: W! g0 o: j' y6 h5 ]+ [4 s不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    9 I3 n3 Y6 ?* T7 T" v3 D2 g这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ! t8 D/ |4 a6 T9 p" o! P
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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