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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ( X1 v5 i" K# w* S2 \也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!: H, D. I0 G) X- @& y( s
    / x0 ^2 m/ f) u) z% y; z& c% [
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    * S9 P8 Q, x  ^: H, o7 t( E
    ( r$ H! R6 g. P2 E! J$ R
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    4 k8 _3 y. o) _3 X, S/ M( G
    应该会在5年内实现吧。/ ^. Z$ K  |0 o# q4 Q9 t

    7 H& {$ Q9 x- q. L; ]% m微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看): N4 V- z$ _' u* d, V
    24-9-16 23:553 Z9 ^9 V2 ~7 k* m8 l7 P3 K7 n
    发布于 湖南$ {$ ^* x  O- O, j! b( w' L
    来自 微博网页版. q) o6 ?$ ]3 t- j
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机! w4 i/ [+ V- E( T
    不是运过来就能直接开工的。
    % k6 x( \# `- ?8 R他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    7 L  h& D+ P+ L7 k: b) s+ j: a3 z' e2 }. c
    这个时间很长,也是我常年说:
    * f" |, J7 k( w, z$ C就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。) j. U( q3 E$ T( o

    & l3 j9 m- G" s+ O8 V' s. t5 g现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    & q4 U4 b- d' D8 U- d: I, n! s# g* A1 |6 Q  E; _0 X
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。' f& }7 S) F2 p% {3 x" s; U0 f" B) @
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    " u8 D* P: [" n- ~7 M( c多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)/ n4 A2 v6 V5 g) t1 `6 U
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了) x9 @5 A/ m$ |1 F4 e" Z
    3 s- |2 z: j2 w3 G
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    # s: M$ m; v+ F/ T% ^) Q8 C5 f普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。, l+ E( E! {/ y/ c8 d% ~
    #华为mate70# 也没多久了。' z: w- ]9 y1 u* N) e2 Q

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    : H3 g+ V/ P7 A5 y) w应该会在5年内实现吧。
    ' \- n* U. Q2 C
    ' W6 n+ x5 c5 c% n( I2 B微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    1 Q6 l7 d' N" R7 U  y& ~/ b3 f( I' K! j) o- h$ c
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:159 c# d$ Y+ N. V3 I1 P
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    , i: N3 y4 J+ x% f% k9 j3 a
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    7 p$ s1 Q' A4 N7 P: e! c5 l
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    - q8 @% X6 \) A! |; n% T& `- h! W- y但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    5 a! d9 L, K  s3 `# V4 F9 V# H" a" q. c/ {1 d% a
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定- j* Z- b) m) p7 \4 P7 k
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:347 W8 j0 h- ~4 ?+ u1 }
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    : F$ D, _0 S6 w1 q2 \5 }8 c! P
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    5 H) ?0 W3 n) @按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定4 x  W# V2 O6 O* I* k$ }! c0 _
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ( v. N8 ~! _* J( G
    有道理。/ G8 F; k# w! _2 N/ h0 C  _

    , ~! H1 q' y) y不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。! ^6 L' e; r1 C
    * g! u* F% |, g& S* z
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    8 y1 \6 _2 u7 l6 c; L- {! I0 [6 O7 @- d2 W. O5 |+ z
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:081 v. D: f$ W! t
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

      I6 [7 L2 I2 i  ?8 S8 Z这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54, X  R) Z" Z& I# r: P1 S5 G; E
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定9 i; [' f  Q# g( @% |6 {! c
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ' A; X0 ^1 G1 {: n还没搞定?
    7 g. i8 N  [) Q1 e/ x% @我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    2 P# e: M- x0 }* k( k尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ; Q5 X# I6 N! G. [  U+ F

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:549 A7 V6 e* n" N# a9 E6 X' \
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , M/ g+ e& @3 s  d( g1 v  [所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    8 Y! W/ ]3 V9 Y
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:130 l0 F6 M: d2 S2 ^
    有道理。- e1 |# ?( w3 A! I
    5 ]/ L/ `' h: g
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ! x( P5 E" v+ T& H可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。* N: {5 j3 ?" E4 @' P1 e! W  R# }
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    ! J  Y1 T# Q. c9 k( _2 a8 J
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19, p  V6 o( L! _- z
    还没搞定?
    3 c1 a1 C* c7 V! f我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    . ?" A0 A6 w' a) t2 u: v- i2 x% A
    4 c$ Y: S8 `1 D: Q& R
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    % @+ a& g; D, F! Q) D- w+ {( O有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ; X/ d/ i) Q6 g$ K突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    7 K- a* k. E. n) y3 I% s
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    7 u+ x- v* h0 R$ t+ _4 ?存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    " \/ V  l- \. I: a  B9 s, e9 Z
    需要用到浸润DUV吗?
    8 a+ E2 J) s  ?$ t4 e1 J4 q' @* x! v9 d+ o2 R4 _0 p* |7 Z
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    6 V3 z6 ~# ], U$ s9 [; F需要用到浸润DUV吗?
    ( t. y8 m, O. g! D
    1 }, C' u& n' J0 _我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    4 l& k0 }0 C+ a- ?浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    9 ?3 V) V+ t7 F# r! p可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    - a# L2 w% M! I/ G7 D8 C& S/ P( k
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。: r3 A. L6 b- j) v0 l! Q2 i

    2 W0 m" t4 p+ @- @/ Q4 \% u* F9 U硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    & B% C3 a8 f0 c" S2 {. t9 c! y浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    5 O: h. T5 \' a1 Z/ L4 t0 h& m% c' v$ t
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54; D1 j* x* X) m) t
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定( U8 s3 a* ^* z% c; {8 w! `
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    - a( A9 p8 l4 Z' l+ M  N* B
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    7 K+ g9 |- q! g- u5 l) c) z+ n/ ?
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    ; K+ k+ b7 x2 w$ e) i* q" U, G具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    5 y  Z2 V* `4 ]4 Q/ l
    , L4 s. p; u- U( Z# e& l5 x
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40- u  f0 V9 R" B3 F; x! E
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    + x) V8 z3 I7 A. I) I0 ?
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    . n) T/ d  d7 x: l这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    2 h( n+ L; R# }% K- @
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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