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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00. q8 E& l: @& f% A
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!! n2 F1 |5 C6 B* D6 R# J

    ) l! k  l* i5 g6 H个人感觉:相比于前一阵 ...
    ) R2 D7 t/ T5 [

    ; a9 _* |6 b- r- x
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    6 p5 Q% [3 K2 a' R" s应该会在5年内实现吧。% D: w4 @& a" p* n3 n( B/ l- u
    - [, f& E; y% V1 }; Z3 {
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    $ V% w+ p* m( }8 g. _) W; g24-9-16 23:55
    7 Y4 V6 O" ^/ ?( |1 ]9 k6 H) Y发布于 湖南+ X( K) n+ G2 }0 L7 x3 y7 q
    来自 微博网页版: B4 u; M' ~5 d
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    8 Z5 s& H2 g$ m; v不是运过来就能直接开工的。9 t6 E. b4 U& N' A9 c: @* h) |5 U* m6 z
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ) G2 R% d, n) X$ W) B9 ~- z; y  k) o( ]) Q1 }8 U) _; z
    这个时间很长,也是我常年说:
      D5 V) W: `" y4 |1 s6 E' G就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。+ I+ F8 l, N4 ?9 K

    $ |0 Q" z% m! `, @0 T( N现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    / h3 S. f# \- o' u3 O% {7 ]1 K8 c/ I3 m0 @7 h
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    / w: T2 [5 z: ^6 \' X) P, q# C干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    * |& @9 v9 S5 j4 L多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    3 a3 A& t) i5 h! S" @) U9 j但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了, a4 |3 i/ S3 `8 Z- |6 U
    & D8 C- p! [2 l7 P0 E# U/ p
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    ! v- ^+ [! M. |普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    * L! ^% Z9 a) t& f6 C* ?1 [- D#华为mate70# 也没多久了。- T# g1 s; Q6 J& R' `1 d

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ) x- h) C' P; i2 l8 z& x# W应该会在5年内实现吧。9 X0 D, A/ x3 q; f$ b, e

    : U8 l' {  y% _5 |, T! J* r微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    4 o* n! n7 l9 u3 H9 I" C; e/ Y! p" V3 r6 L/ f- I. E7 A1 s
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:151 O: N# T) K. L% g7 D5 F
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    * e1 e1 W7 [: a7 ?( `) ?但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    2 e1 X1 {& e& }' f; g4 F
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    ' H' ?% }) K4 ?  f$ ]) E$ C但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    $ m: e0 t# T2 K: G. a. u4 ^) u1 F* h" [+ P% f9 g  E( C' P  Z
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: W/ Q5 r: L* ?& V
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    % W5 Y) Z* f" b3 t不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    1 g5 ~2 g4 a1 r# U# [' o* F1 ]( D
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ! `1 A0 @( l4 q* @' W5 p' I7 q/ ^按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    - Z' ?: S$ X3 u: \6 I4 l( n所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    + b4 l" C- P" B+ X" _
    有道理。7 A4 _" k& e7 F5 c6 l) y6 Z5 Z: e/ U
    , Y) F4 I( E6 l. c6 O
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。. t" g+ f6 i0 y* D
    5 n5 G& X! I$ ^& w: ~7 a
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。. W! @# t7 s  ?5 O, j2 Z

    ( _# q6 }/ i% c这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    9 C0 J' h6 ]/ D; k$ K! e3 @# ?理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ) ~' S: ~* u5 _2 z7 c这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54' ~. U4 M' C  Y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 K. w) H% m- b1 C
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 E. b# m: ^5 q$ i* q还没搞定? ) @1 c! F1 a# t+ w# |! V
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    4 `" W& n/ [7 d3 v- r9 ], Q) T尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。! d. {+ }" d) k) l0 n# g7 ~; J2 K

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54( G: l1 o7 H& Q/ m+ x
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ( R3 G% \/ Q/ R6 @4 F2 c所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    * r1 h; q" u7 x% \
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    . N3 H5 R* [; v4 X# t有道理。
    " J, ?& Y* T* s, M
    4 n" x7 M4 {% r) _5 c/ R8 ^. f. E不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    * [1 S5 D0 S; I
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    , S: R  k8 P2 n. k' U很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 5 @. W$ @/ [' Z1 |: W# v
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    1 P9 m. \) q3 z6 z0 d& |. J还没搞定? ) V+ b8 h: |9 @' Q7 @
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    2 r: G2 p% z  U! i- @
    % l) ^5 l8 I% N! [4 m+ TNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。$ |  {! N+ O' B! n" D' @
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    & I) H7 T3 [7 j突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

      b* m# O$ F+ m( o0 @存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    3 i. e; E  {9 H: F) Q9 {存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    , @9 s) O4 S  x: {6 L/ v! d, T需要用到浸润DUV吗?& ~) F1 y3 h4 n  ^" J0 v+ y
    , J+ q1 W+ u$ `% Z  a0 z
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    $ F" |4 k+ D  l需要用到浸润DUV吗?' x2 z* {) P* ^- |% |/ T, x1 k) K1 v

    4 v$ X' G9 ]2 ^我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    " S% x( ?& {/ A. @# u4 H# t
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    $ T; q6 A% O8 m可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    * J$ x3 m. o. e. l$ Y3 Y9 e. p
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    % n* W/ {7 ?0 J' c" U2 B4 X: A  p# c3 p% N2 ^6 k) @8 s! F
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37" x1 a) O3 `( f. J% c  d
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    ' t4 {: c& M1 Y9 x* O. X5 e
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:546 I' Z4 u  W$ d/ J! g! ~' z
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定* e& O1 R; S, x. V7 q) O; g
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    3 h9 V2 e+ i: Q7 g( `
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    * M& i& E4 ?% N7 T
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43- ^8 h, A+ e& o8 N& x$ y/ D
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    - ~, l5 i. [$ m* D0 u7 h  r
    3 j& R- X5 p8 y  B
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:400 [3 \2 @8 N" S0 u5 ?. ~; w9 X) W
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    ' E; p5 v$ w+ c. v# D6 o0 l不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    - e/ s, D" ?% k8 e* U这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    , T0 [$ y1 z' x0 M中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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