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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00& q+ b( A4 U) `. X0 k; D( F( T
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    . }( U  I# o# f7 w5 n; K9 Z
    1 j" e9 k/ J& A& R; B( f2 w个人感觉:相比于前一阵 ...
    + Q3 x5 l8 N: r: ?9 d& w

    . n; t0 j( A& s6 i! _! A' M( q6 p
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    $ ?. v( |! l: M$ z- ~& r
    应该会在5年内实现吧。
    0 ~4 Z* u- _' v' Y/ h6 @$ R3 D0 _8 n/ y) W; n
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    . I2 L- w7 E7 r# |  `24-9-16 23:55
    : A/ G" K8 ]* n: b9 X发布于 湖南5 D+ Y* G% ~# C5 F
    来自 微博网页版9 k' {" K; e0 l, ?* w
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    2 |- L& C+ L$ k% U7 I$ _不是运过来就能直接开工的。- f1 ^1 {5 V: c: D* ]1 m
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ' D% p# l% {; [( Q; r0 e$ \3 a- `! a  P& C
    这个时间很长,也是我常年说:
    , t- ^- o. i" a* O* r  K% h, [就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    : B& z# @& P6 n. F! ~' K2 L. z( \4 q% J! p
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。4 Q5 }" p0 b! p" ~6 Q4 s% H6 O

    # R4 U* B% J5 E' A$ w简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。+ P: ]; P. z) D3 y% r/ f
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)9 n" u( c* h' }, h! X# b% J6 A( D
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)3 L! I& M* C- ~) d% ?( \
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了0 m8 M7 S  ^+ l
    ) s. [* T# O6 r; {' y6 p
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。, c+ [" i) `+ h  ?' D
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。8 c) p3 I+ t1 H8 J0 t% p
    #华为mate70# 也没多久了。
    4 ?/ n+ [9 [/ L$ A7 g5 a

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06. E$ e' S& N. A$ i" v
    应该会在5年内实现吧。
    / J1 W3 Q% H* D9 C, E+ W- X# }! d  D$ U8 t: _7 r9 S) p- n$ R, R* J
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ; ]* n' I% {6 K7 y

    ! X* s( m. {  s9 g! N这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    ' u2 t+ ?0 C9 `4 M  f+ Q这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    . m6 p" o* C' y8 A  D6 L, J
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 7 S. G/ j5 x  _- ^4 n
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    2 H2 \8 M6 X: u但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    / u8 ~; W" F6 X
    ( @, r1 T0 t- d- `6 q! F' N按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 ]+ h. y: @' k9 A# U- J. @所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:346 ^$ ]$ S8 k0 D2 J  P* B1 K
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    / A9 L  O5 ?6 f  f7 x
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    6 ?' O( [3 k/ |2 y# a按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; K2 Q' ]7 _* E, A2 E" I6 y
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    - ^1 t& Z+ B" ?
    有道理。
    8 z6 P7 t" G7 ?: z9 A, J7 u7 W% X' m5 |
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    8 m- M2 r' }2 t/ a
    " ]/ [2 T1 O! N- ~' V& A中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。$ g) F: P, b2 ]

    8 Y9 @/ ~/ _  x9 U1 M' c这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    ' c! V& K% B; z7 |7 m% g8 P4 w5 {理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    " ~- I& N6 J8 P& W这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    / t4 x+ L) W# h5 T; ~2 q# u4 V按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    8 Z( S( @1 @: [& G. I% P; ]所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    6 F& U: [. j+ J  A9 @% W还没搞定?
    3 p2 h4 i/ k! u9 t/ X我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    , J! H- [" _' n5 j尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    0 P: [. Q! ~) n3 A' u

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54+ H2 r# Z' \) d: ^1 ?+ o0 a
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, t$ G8 U! o+ w9 T8 m+ H% s9 c& }
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . |0 W  ]8 ?. V9 f9 \0 _/ V
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ! L7 n+ b! o' U+ f5 u4 U有道理。
    / A1 ]& ^* c# E2 v6 b4 c& N4 B* g$ F  ]$ s) v3 _
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    7 a0 f) ]4 Z5 {) v! h6 _
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    / i, u" ~$ ]% f1 g4 c8 p& r很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 8 o9 g8 X& L; d* A* C) Y
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19$ u8 }3 D- V# R- C$ n7 x" q7 s
    还没搞定? " `2 S0 W: Q0 f: y0 {+ Y
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    ( |6 m1 D; P* Q. s$ _" j" |' C: Y4 w/ {9 L- }( i
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。6 D- K/ \1 `: x7 \- V9 R( R1 L
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21+ c7 k, {8 a4 p" g8 R
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    . j2 I+ s; K) B0 M1 u0 t4 t存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    . V( w% _6 q+ C% t+ D' [存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    & ]. ?9 S% ^* D$ G& a4 a需要用到浸润DUV吗?
    % f+ O; d7 w# Z8 R- y5 `; y- Q0 U& C4 U2 C7 \8 v. r
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34# J, r  c! M2 @! e: R
    需要用到浸润DUV吗?) N% l8 X3 S" [8 l( _

    - q; @, D7 y% T) l* ^; V0 ?我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    , K* u& M4 B0 h) N1 j% s  t% E浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    " O" `$ J" w* c" j  A$ D4 }可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    - X/ z  q8 v! `9 ~是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。) J6 `; a$ h( w* Z7 O

    $ k- N) V- N$ C3 Q; g2 O" m硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37, W5 Y3 m9 |3 @% R
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    # _  o% l# d- Y( O8 r0 t' l; A% D都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54, l# l3 F9 g" Q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定1 X' {$ Q* L; T0 G# w  ~
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    0 o8 T" J( j& T5 r0 L' U具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    2 Z) K% l2 e6 s) e9 w* W; w
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:438 e7 g" N: `2 L! h. q9 Z
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    / v* |" d& \: }" m( I4 Z% f0 a& d9 r+ g# i$ F6 S3 w
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    $ K9 h; w: m' t6 p: i$ g" E( i都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    " m% s% F$ b& Z" g+ I' R1 B
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
      O/ K3 U% a5 b4 D8 r这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    % n% H7 [4 r$ A: }
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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