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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    9 r- O7 ]2 N, h2 l* Z3 p) \1 w4 \也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!1 B" s5 [4 c$ Z1 \& K- y' z
    # p+ u7 O6 Y7 ]1 F. {
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    + Q3 x; I4 r- o/ `

    7 p, X1 A% ^$ b3 x& O2 H
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    / m4 x9 {, r3 l% g6 T( @$ g6 R
    应该会在5年内实现吧。
    8 O" p6 t2 h$ _2 q" [. q9 a
    " b+ R- q- O+ U0 h4 S0 [微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)7 ]# K0 \9 g6 r" D- }
    24-9-16 23:551 q- b; b& ]- I# Q3 M6 D& T
    发布于 湖南/ C7 K* A1 h" h4 e  c
    来自 微博网页版- x# V7 j1 S0 N
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    # o; ~# Z' r. T4 Q% H* B不是运过来就能直接开工的。' U; X$ }$ M& q+ J3 u- w
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。* X8 g4 z8 B# K: m

    5 I. p' n! v+ H; }这个时间很长,也是我常年说:
    4 r  Q# w* F  g- V就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。% l7 E% L( q" I1 d
    + }) ~# p, @; W5 a
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    2 q. {1 I7 B4 J( @, w7 Y3 Z' z, D1 q  Z! _0 I7 _+ g" {/ H0 S% r- I/ m* F
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    . p! D5 X) Y+ Q: A: {# t# Q' C1 l干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)3 a9 H* m& i( C/ B. y8 A
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)( c2 C+ }; O7 T, P
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    " L1 O  d) w3 S+ L7 y& D& m0 W5 V; l( l& [/ L! J8 Q" c4 F5 e
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。$ W9 X: |, x. W# }1 |7 p& ~
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。( f- ^0 s0 h& t: [
    #华为mate70# 也没多久了。1 Z/ O: v! s4 c5 g3 C) d3 n! m6 \

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:066 Y( w3 ^/ _3 {" d
    应该会在5年内实现吧。( |) l3 M8 c% @" Y. D+ P" A' r$ k
    8 M/ E( h6 C1 t; v' N
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    * Q& X& K/ O% @, v  J" x4 ^
    - z' H( x2 W% i' F- N6 p这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    * d: U& e( G8 Y, Z2 D这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    2 Q, }- a6 ^$ b% d但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    4 `5 X% U$ Z0 n! B) d* M. a: c9 n$ y
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39" d; Y; |6 V! F8 h! w9 }: E
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    2 O% F% E: F. C8 [  U
    " M5 @& c3 _5 `/ y- t# j按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    0 Y' `8 ~' Y5 F* k所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34' C2 r# r6 ^, W& l: J
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    0 e- F( _0 C7 g6 x7 c  h0 H
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    & W" n0 l/ `( T& U按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: a7 e' z# ?, A( m
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ' s+ W& b9 B% L9 s  N+ X' y/ {0 f有道理。  c+ v. V4 P: T

    2 s# r6 {5 y. k8 m" k) v) a. V* x不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    8 R6 A  M( y5 v0 O" e; L" o
    1 q6 ~  R8 D2 c1 |5 J' ^6 T8 ^中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    * \1 t) t4 f- D# V7 N
    5 n( a! u# g0 i1 \) @这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08$ K1 j) u% p8 ~/ p
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    - k9 q* ?% _  M: f: y0 T( h* _
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    5 D+ A/ `) J1 `按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , v, \* Y6 y5 D, T5 {所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    * }2 X8 m# w0 ^9 C. S. e5 H
    还没搞定? 5 |0 T+ ?! s8 R% ~$ J
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    . q0 Y- n( O! i# W4 t4 m尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。) |# L; K/ R, h

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:545 W* U" |7 I  u. b# `  S
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: s5 C: z0 n. z! m5 |+ A0 L! d7 p5 l
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & N' E8 t) B$ O4 l4 B( j+ j突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    * S9 t! _2 a4 F" ^有道理。
    0 a. N2 B! J( ?$ R2 {+ d
    ( }* M( r- r# W; V- q$ @不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    1 S9 n) u5 W6 H0 d& {. Z
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。/ T/ m1 |% e/ h5 u" G+ l0 i
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    / F( C# Q- Y% X" b9 z
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    9 J" u! @- f  {) y3 R( R. J8 p还没搞定?
    + U! m8 b0 n9 r5 [8 h我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    * ~9 R& V+ V  U2 ~
    $ H: O! [! y; PNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。- I' Y# f4 z+ L% ]( |: G  i
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    3 h( S, K$ j2 f突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    4 t/ b6 {! Z* L3 K% o) T$ p存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31% A# }; R4 r4 K! D4 L6 B
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    1 o; I4 p* N9 [; F& a需要用到浸润DUV吗?
    , s7 Y( O' D; M! t+ c. [- K) F4 f* u! S6 C" [5 C8 R& v" l
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    0 l, _6 ^/ V( x1 I2 T需要用到浸润DUV吗?7 a. o  _7 y1 \* N

    $ x" U) [9 ]* {# y, a我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    * p  h/ k3 h% |5 p
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    " T5 i4 T1 Z, k, p; i. S* I9 }可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    1 n4 {4 S( R4 [  B是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。8 E/ L0 p8 ]5 W- [9 A  y( {2 p7 A

    5 R4 E3 _$ o; L6 o# g: l# W硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    - ]8 D" ~) P: C1 Y9 K/ V4 N0 j浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    ) I, N2 e  M/ w, `# ~都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    / f1 B! e& ?+ |1 a+ s7 F按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 a: b8 {: @+ w, I- D所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    9 V$ x( d% K7 ~8 S
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    1 t, m: ?# r) j8 w$ D
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    ) \0 i/ `+ w/ X5 M! P0 q具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ) x+ }9 L: x1 T" x  }
    9 c, h( Z5 f- e% O( N1 m' ^这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    % b0 Z/ G' U* u5 M6 p都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    - z* K: l. w2 l$ ^不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13' A1 w  R. x" `3 R' D1 @; g6 a* z5 r
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    5 y; c* w9 T- L中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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