TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ! Y" t. x% s% z% _( b/ F
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
: L ~5 m( C0 S( R我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。+ C M$ ~. O/ H3 `3 ^, d7 w- j
& i+ N1 |" Z9 Z5 }2 z我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:. D% J$ ]+ A' q6 K
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
3 C) N1 E( J6 Z; ~8 P+ p$ ^: z/ a第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
! z$ U6 ]' M" [& u$ o* {- s第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
5 ]% I+ ]3 `, Q第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
1 m1 a6 t& n: _1 i' P第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
) h+ K2 ^& V# T1 j7 q' s目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。( N \/ O5 q, ?/ H. E+ Y- B
1 h5 i( h7 q& D% W, D2 P+ ^, U
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
& f7 i& f9 t( U% V) H1 |- s! a. Q1 R& D单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
* V2 c; _6 z+ ]- A2 D串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
* a& H/ A( g( x/ q$ H并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),; u- |8 ^8 r/ e8 y) f
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
a* C3 P8 @7 b单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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