TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
+ |' O# y( `/ O, a% ?4 P能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
! j2 v" }: E$ l& B我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
" m4 Z+ H2 j. v, O. j
, n/ D9 m% N5 o. N( J: h我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
# U' N$ p$ K1 z- X第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,8 V+ j7 A, e! T: l
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
0 b# M) j% C3 i0 [9 |- I5 t8 T/ `第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,) j0 Q% R' d0 S
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
; o' w5 [! I& E' z; m9 l第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
0 z+ I2 C6 e9 @. E( T# F+ t目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
9 ~2 q$ i9 [2 C/ F5 S+ M
1 U8 {* t) {* } P' ]6 m# X在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
' C) U- x5 A" h7 P单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
* g3 H1 L, R' D1 N. n* ^2 B, |串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
, }- T$ x* u# w4 s并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
: G0 ~( W6 t3 C1 z [$ u团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
: w. ^' a. U1 t7 n7 e2 W单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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