TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 6 A: s, j+ ~7 _: q6 Y# L
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... 7 X3 f4 T0 W8 w, w( i9 m+ j
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
$ N7 L% T- y- z/ h' E: s6 A" O& C6 B2 {( D3 D4 G; n
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
; w) O0 N9 U! }6 T第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
" y4 K7 u) T2 _, F& w' l第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,+ o8 {& |3 z S
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,# }$ x4 Q; j& M% t. ^0 |5 c
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
8 y8 p& s# T* F- s第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
& y8 Q: S" Y6 X! F2 N4 P/ e目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
, Z( Q* z; y# G1 j( f$ n7 ]5 c9 t+ S
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:1 b7 r2 ~/ v5 Y3 l. g3 W- j: Z
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar)," {# U+ C: O7 y2 C! G4 c; m8 t# z
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
5 ^ s7 R- J `, B( ~5 K# N5 n. o( O, z并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
, W/ i7 d, G! F4 M( t% Q团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),8 s; K) ?0 y, A2 m; R5 u8 G
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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