TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
) r. Z: [9 s5 _/ ]能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... - e( r! a) C9 y2 ?# }) J5 n( b& Z
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。$ K; H0 ]) s. q" Y3 H7 I4 U
, W% B2 Q9 y% u) l5 G我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:, W& B: J* q0 D9 I
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,3 \ \4 m& a/ s4 ^7 _/ T1 u& s- Z
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
/ U9 j, h/ D" S" O0 b: v第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,5 o n4 T0 w5 ]: K
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
- D, z/ g. ~8 `$ G. h8 p2 e第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,$ F7 x* P: F% O$ S e; K! o- a
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。, w- {; [: g O1 D1 n
. f6 J! `; b3 q5 f! I
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:7 j7 z% O2 V% P( K/ r" d
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
8 @: G* \) N& M' ?6 Y$ H串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),; w! |& _) K: k" a, V6 ?" v' F
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
+ W9 y- V3 h4 X1 S1 F6 L0 s# m团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),5 H8 ~+ @ B. R' h4 r7 M& s! P
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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