TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ! c2 T9 b g; U; x
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
$ T- X4 i' N: Y3 _1 O |, K我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
Q0 m. o; \' A1 r8 {9 u
, Y' S& C. z. e我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:4 w4 j# D6 q' L- \5 n/ w3 f
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
2 x9 }( M3 d0 M0 R1 S& z第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
) l% D/ e) Y0 T7 ^ B第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,& M: ]( P# P4 Q' i& U
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
% |; Z9 ~, O1 _第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,, I" D5 A1 p4 |; H F
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。, \$ K. P$ o6 S8 O. i1 V
! y/ u0 P0 `2 E! \2 C: i, w$ f% W
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
4 C: ^, d3 E6 |/ |% `5 n& U单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
2 F: I* I9 |" i: U D9 U串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
. n" r) W* \! ~* R$ @并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),7 Q! w/ q" [4 K# F
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),$ |9 b% l* y9 d g* E
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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