TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
O* m3 j2 ?+ A2 u能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
% [( s. y8 n: _/ M# Z+ O我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
9 _" W7 q5 ^$ D
, O \5 X+ G5 t1 B) o我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
' E0 ?, ]/ v, o% t第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
' `) x6 y U, P8 W* g' E( Y第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
" h- _5 V! D! o" N) B% @6 d! Q$ W第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,4 H9 m: E- y# R/ X
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
6 |/ N% V4 E( y第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
+ \9 S4 ~$ v; }9 O- S7 b, B5 D/ t目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。2 h/ c$ _# @' S; h+ A1 u1 M7 [
# \& O) J: P4 w9 [0 y, i: H在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
/ j D+ p% L: n9 S( d# S$ R: w8 K+ q单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),! X+ a. o! M4 Y j7 m% F
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),/ {7 v, ]# O! |! j# n3 p
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
& L6 j# w( `, j2 C) t3 E" v: `团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),' ~: W. z8 R- `% j% E
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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