TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
/ l! {; Q$ M; ?能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
6 [9 T# N' }6 o* j2 x% ]5 A我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。) {# H% M( M9 m1 z m r
d' L" n4 R+ Y1 l9 x! X9 h我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
. j3 }2 b' ^% z7 N, ?第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
9 B. U$ D7 k" F h) @ g' D: r第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,6 F2 F2 J, M p0 @( T
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
m, K, v) @ C( S第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,+ e" x- x4 k4 X( s) R" Q6 Q
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,, `( W! A( c; `
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
4 [+ I3 h6 U& u4 Q8 E# a* b
. o2 o+ l3 o& K6 W在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:8 s, B+ z6 q/ Z6 G
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),+ ?, u" w+ r6 ~5 w8 ^0 n
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
! T' O9 H* z7 ]8 j并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
6 {3 r# q! S7 Z6 `; x' `( }0 ~) a V团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
! ?8 N$ ?2 z9 I c. e单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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