TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳
楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 . @* K# q' W% C; ?# \
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
, T8 Z; H! v% d' |) N$ |我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
5 `/ |7 N$ x# k% O9 Z- E7 W' g, k; @/ W. q4 L1 X2 {5 o9 T' A/ d9 T
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:2 |1 V" e, c2 X9 J: Q# w
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,- U; p& d) q5 Z' N2 T
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,8 X! b6 Q* q' }0 t/ ?9 q E9 `
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
4 X0 B4 s& t7 X第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
' [, T8 k4 y. g$ C1 F1 j第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
. g) E' R4 H& D# n5 p; {目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
1 V* h* j$ V8 f" {0 }, o% ~# h
+ s9 W6 b1 d2 a! }在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
* f1 h( P' L, E" t/ n) c9 l单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),3 r0 U0 a' K0 G3 b$ M; `7 p
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),6 s6 q3 e8 `6 E# a1 _8 @
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),6 y. e, ~ a' F$ r+ L+ }# V
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
$ f5 f3 _& ?% R单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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