TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 * Y) s# R, k1 P6 n. _1 k% w
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
6 ~2 ~& M' r' j% s, { R* v我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
3 i& j* Y& P" |2 {& ]$ @
' u! i+ v* T4 x' g& l. Z3 ]我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
8 z2 h9 b0 D9 ?+ l2 S% U: x4 p5 r第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,/ P9 d! c0 @' f& ?! d3 ]0 `' \
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
: W" u8 s1 Y* R8 K: A第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
( C, ? Q8 U: \$ H% G& a% {第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
- p. g- i2 l7 i* f第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,8 i# V, t8 m! _9 w) x
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。+ ^$ l- q1 j5 M w
# j5 I1 }- Z) \( N( Z4 `在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
8 Q3 P { l; P, X$ p; `' M单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
5 @9 c. R+ X1 y' H% _) u* l# \. G/ A串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),+ e6 J" I/ v& ?! w9 p; ]
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
& S% O- {. R/ C0 L* J, ~团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
( f1 @% K! G/ O4 a$ |( `) t单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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