* R. x0 [1 k8 [! h0 v7 c& b非晶硅电池一般采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子增强型化学气相沉积)方法使高纯硅烷等气体分解沉积而成。此种制作工艺,可以在生产中连续完成,以实现大批量生产。由于沉积分解温度低,所以可在平板玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料膜上沉积非晶硅薄膜,易于大面积化生产,成本较低。在玻璃衬底上制备的非晶硅基太阳能电池的典型结构为:Glass / TCO / p-a-Si:H / i-a-Si:H / n-a-Si:H/TCO/Al。0 }/ E8 R5 e. P f
为了提高电池的转换效率可以制备双结电池,即在第一个pin层之后再制备第二个pin层。非晶硅电池的光电效率会随着光照时间的延续而衰减,即所谓的光致衰退S一W效应,使得电池性能不稳定。解决这些问题的途径就是制备叠层太阳能电池,叠层太阳能电池是由在制备的p、i、n层单结太阳能电池上再沉积一个或多个p-i-n子电池制得的。 ( L* y5 k: ]' T2 h3 W叠层太阳能电池提高转换效率、解决单结电池不稳定性的关键问题在于: + F% w% [0 C+ U7 g①它把不同禁带宽度的材科组合在一起,提高了光谱的响应范围;$ G* P& ]0 J5 V# N
②顶电池的i层较薄,光照产生的电场强度变化不大,保证i层中的光生载流子抽出; 3 M! M% v+ Y K9 L9 R③底电池产生的载流子约为单电池的一半,光致衰退效应减小; & U$ ~3 R+ d: p" q& D1 B% V④叠层太阳能电池各子电池是串联在一起的。 7 h$ o; Y* m4 Y) T: \2 _ 1 j& T. Q6 o; h非晶硅太阳电池的制造技术同半导体技术相似, 在实际应用上会把单一的非晶硅太阳能电池与相邻的电池串联,做成一体成型的太阳能电池板,因此太阳能电池的内部导线的连接相对的稳定可靠。如下图所示: 8 p2 Q! c [7 R6 j8 z& \% e, I* p
9 k. R, F4 m- u, s9 b* Y当非晶硅太阳能电池完成后,可以在金属铝的一面以EVA (乙烯/醋酸乙烯脂共聚物 Ethylene Vinyl Acetate)为黏着剂,再接合一片玻璃。形成了两面是玻璃中间是太阳能电池的结构。如下图所示:/ Q% o# m/ |( G* u, l8 k; [* I( e& i $ _2 W, c' H+ F' W2 r